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1.

发明授权
Toroidal filament for plasma generation 有权
标题翻译：环形灯丝制造等离子体

公开(公告)号：EP0980088B1

公开(公告)日：2003-10-08

申请号：EP99306209.0

申请日：1999-08-05

申请人： Axcelis Technologies, Inc.

发明人： Chen, Jiong , Capodilupo, Ronald Anthony , Barusso, Scott , Ring, Philip John , Jin, Kui

IPC分类号： H01J1/16 , H01J27/20

CPC分类号： H01J1/16 , H01J27/022 , H01J2237/31701