公开(公告)号：EP1705687A1

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：EP05006680.2

申请日：2005-03-26

申请人： HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG

发明人： Axenbeck, Sven ,  Bannwarth, Markus ,  Steuber, Martin ,  Trusch, Alfred ,  Wolf, Lothar ,  Wiedemuth, Peter, Dr. ,  Zähringer, Gerhard

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01J37/34

CPC分类号： H01J37/32623 ,  H01J2237/0206

摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Arcerkennung in einem Plasmaprozess, der von einem insbesondere frei schwingenden Wechselstromgenerator (5) mit einem Ausgangssignal (20, 21) des Wechselstromgenerators (5) zur Leistungszufuhr gespeist wird, wobei eine mit dem zeitlichen Verlauf des Ausgangssignals (20, 21) oder eines mit dem Ausgangssignal (20, 21) in Beziehung stehenden internen Signals des Wechselstromgenerators (5) in Beziehung stehende Größe gemessen oder ermittelt wird. Unter Berücksichtigung des zeitlichen Verlaufs wird eine Referenzgröße bestimmt, die Referenzgröße wird mit einem Schwellenwert verglichen und bei einem vorgegebenen Vergleichsergebnis wird ein Arc erkannt.

摘要翻译： 交流发电机（5）的输出信号作为供电。 相对于内部信号测量输出信号。 将参考持续时间与阈值进行比较以检测电弧。 确定输出信号或内部信号的半波的持续时间。

公开(公告)号：EP1701376A1

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：EP05005248.9

申请日：2005-03-10

申请人： Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG

发明人： Glück, Michael ,  Hofstetter, Christoph ,  Hintz, Gerd, Dr.

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32174 ,  H01J37/32082 ,  H03H7/40

摘要： Die Erfindung betrifft einen Vakuumplasmagenerator (1, 1a, 60) zur Behandlung von Werkstücken in einer Vakuumkammer (17), wobei dieser aufweist:

einen Netzanschluss (2) für den Anschluss an ein Spannungsversorgungsnetz;
mindestens einen Netzgleichrichter (3), verbunden mit
mindestens einem ersten Konverter (4, 4a) zur Erzeugung mindestens einer Zwischenkreisspannung;
einen ersten an die mindestens eine Zwischenkreisspannung angeschlossenen HF-Signalerzeuger (6, 7, 20, 40, 50) zur Erzeugung eines ersten Signals einer Grundfrequenz, insbesondere im Bereich von 1 bis 30MHz, und einer ersten Phasenlage;
einen zweiten an eine Zwischenkreisspannung angeschlossenen HF-Signalerzeuger (6, 7, 20, 40, 50) zur Erzeugung eines zweiten Signals der Grundfrequenz und einer zweiten Phasenlage;
mindestens einen 3dB-Koppler (13, 77 - 91), der das erste und das zweite Signal zu einem Ausgangssignal koppelt und an
einen Generatorausgang (14, 92) mittelbar oder unmittelbar übergibt.

摘要翻译： 真空等离子体发生器（1）包括用于连接到电压供应网络的电源连接（2）; 以及连接到产生中间电路电压（5）的第一转换器（4）的电源整流器（3），产生基本频率的第一信号的第一射频（RF）信号发生器（6） 第一相位位置，产生基本频率和第二相位位置的第二信号的第二RF信号发生器（7）和耦合第一和第二信号并产生输出信号的3dB耦合器（13）。 还包括用于在真空室中处理工件的方法的独立权利要求，包括：（A）从电压供应网络接收电源电压; （B）产生中间电路电压; （C）从所述中间电路电压产生基本频率和第一相位位置的第一RF信号; （D）从所述中间电路电压产生所述基本频率和第二相位位置的第二RF信号; 和（E）耦合第一和第二信号，并使用3dB耦合器产生用于真空室的输出信号。