摘要:
Vorrichtung zur kinetischen Energiespeicherung mit wenigstens einer in einem Motor- und/oder einem Generatorbetrieb betreibbaren Elektromaschine, wobei zur Zwischenspeicherung einer anfallenden Bewegungsenergie zumindest ein Energierückgewinnungssystem vorgesehen ist, welches Bewegungsenergie in elektrische Energie umwandelt, wobei das Energierückgewinnungssystem wenigstens einen Schwungmassenkörper, der als Rotor ausgebildet ist, und einen in einem Gehäuse angeordneten Stator aufweist, wobei der Rotor und der Stator als wenigstens eine Vakuumpumpstufe ausgebildet sind.
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Anordnung mit einer Vakuumkammer, welche einen Kammerflansch aufweist, und einer Vakuumpumpe, welche einen in einem Rotorgehäuse angeordneten, schnelldrehenden Rotor und einen Pumpenflansch aufweist. Um im Falle eines Rotor-Stator-Kontakts freiwerdende Drehmomente sicher aufzufangen, schlägt die Erfindung vor, dass die Anordnung ein drehmomentsicheres Sicherungsmittel aufweist, welches das Rotorgehäuse mit einer Drehmomentsenke verbindet.
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Die Erfindung betrifft ein Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern mit wenigstens drei Vakuumpumpen, wobei wenigstens zwei Vorpumpen und wenigstens eine Turbomolekularpumpe vorgesehen sind, wobei in wenigstens einer Verbindungsleitung zwischen den wenigstens zwei Vorpumpen wenigstens eine Querschnittsverengung zur Regelung des Gasstromes vorgesehen ist. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung des Pumpensystems. ( Fig. 2 ).
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Die Erfindung betrifft einen schnell drehenden Rotor (10) für eine Vakuumpumpe (2), welcher eine erste Hülse (16) und eine Tragstruktur (14; 60) umfasst. Um die vakuumtechnische Leistungsfähigkeit zu steigern, wird vorgeschlagen, dass innerhalb der ersten Hülse (16) eine zweite Hülse (18) angeordnet ist und erste und zweite Hülse einen Verbund bilden.
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Ein Vakuumpumpsystem und ein Signalerzeugungsverfahren werden vorgestellt, bei dem aus den Zustand des Vakuumpumpsystems kennzeichnende Größen mittels Vergleiche und logischen Verknüpfungen Signale erzeugt werden. Der Benutzer des Vakuumpumpsystems wird in die Lage versetzt, selbst die Art und Anzahl dieser Vergleiche und logischen Verknüpfungen zu wählen.
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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Rotor, welcher einen Abschnitt aus einem Faserverbundwerkstoff mit wenigstens einer Faserrichtung umfasst, wobei der Abschnitt wenigstens eine schraubenlinienartig angeordnete Nut aufweist und die Fasern des Faserverbundwerkstoffes derart ausgerichtet sind, dass wenigstens ein Teil der Faser mit der Faserrichtung parallel zu der Nut ausgerichtet ist, so dass der Abschnitt dem Einwirken von Fliehkräften bei Betrieb der Vakuumpumpe widersteht. Die Erfindung betrifft auch einen derartigen Abschnitt und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Abschnittes.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit wenigstens einer Pumpstufe (114, 116) und wenigstens einem schwingfähig gefassten Wälzlager (150), welches wenigstens einen Außenring (182), wenigstens einen Innenring (184) und wenigstens ein Wälzelement (186) aufweist, wobei wenigstens ein mit dem Wälzlager (150) zusammen schwingfähiges Dichtelement (152) und wenigstens ein Ablaufkanal (190, 190') für ein Schmiermittel vorgesehen sind, wobei der Ablaufkanal (190, 190') eine Verbindung zwischen einem von dem Dichtelement (152) begrenzten Volumen (198, 198') und einer außerhalb des Wälzlagers (150) vorgesehenen Rückführung (166) bildet. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Wälzlager (150).
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Die Erfindung betrifft eine vibrationsarme Vakuumpumpe mit einem Gehäuse (2), welches mindestens einen Gaseintritt (3) und Gasaustritt (4) besitzt, mit einer Rotorwelle (5), mit einem Antrieb, der die Rotorwelle in Drehung versetzt und einen Motorrotor (6) auf der Rotorwelle und einen Motorstator (7) umfasst, wobei der Motorstator ein elektrisch betriebenes Lager- und Antriebselement ist, mit Lagern (8), die die Rotorwelle drehbar unterstützen, mit rotierenden (9) und stehenden (10) pumpaktiven Bauteilen. Erfindungsgemäß wird mindestens eines der elektrisch betriebenen Lager- und Antriebselemente durch elastische Bauelemente (11) im Gehäuse gehalten.
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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpstufe (100; 610) mit einem Einlass (104; 604), einem Auslass (106; 606), einem Rotor (112; 212; 312) und einem Kanal (108; 208; 308), wobei der Rotor mit einem Rotorabschnitt in den Kanal eintaucht und durch Zusammenwirken von Rotorabschnitt und Kanal eine Pumpwirkung erreicht wird, und mit einem zwischen Einlass und Auslass angeordneten Abstreifer (110). Um eine Vakuumpumpstufe bereitzustellen, die sowohl im viskosen als auch im molekularen Strömungsbereich Kompression und Saugvermögen besitzt, wird vorgeschlagen, dass der Rotorabschnitt Gestaltungselemente (114, 116; 214; 314, 340) aufweist, durch die die Pumpwirkung im molekularen Strömungsbereich nach Gaede und im höheren Druckbereich nach dem Seitenkanalprinzip bewirkt wird.