公开(公告)号：EP0124440A1

公开(公告)日：1984-11-07

申请号：EP84400846.6

申请日：1984-04-26

申请人： CAMECA

发明人： Rasser, Bernard

IPC分类号： H01J49/30

CPC分类号： H01J49/30

摘要： Spectromètre de masse dans lequel sont corrigées à la fois les aberrations d'ouverture dans le plan radial et l'inclinaison du plan image (P). La correction provient du réglage simultané d'au moins trois paramètres: les rayons de courbure R1 et R2 des faces d'entrée et de sortie du secteur magnétique (5) du spectromètre et le coefficient de couplage, k, d'un sextupole (6) disposé entre le secteur magnétique et le plan image (P) du spectromètre; ceci revient lors de la mise au point à résoudre un système de trois équations (les aberrations d'ouverture pouvant être définies par deux coefficients A et B et l'angle d'inclinaison par un coefficient 1) dans lequel les variables sont les trois paramètres R1, R2 et k.

摘要翻译： 校正径向平面中的孔径像差和图像平面（P）的倾斜度的质谱仪。 校正来自同时调整至少三个参数：光谱仪的磁性扇区（5）的入射面和出射面的曲率半径R1和R2以及六极（6）的耦合系数k， 设置在光谱仪的磁扇区和图像平面（P）之间。 当聚焦时，这导致解决三个方程（由两个系数A和B定义的孔径像差和系数I的倾斜角度）的系统，其中变量是三个参数R1，R2和k。

公开(公告)号：EP2351218B1

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：EP09783979.9

申请日：2009-10-13

申请人： Cameca ,  Centre National de la Recherche Scientifique

发明人： VURPILLOT, François ,  BOSTEL, Alain

IPC分类号： H03K3/42 ,  H03K3/537 ,  H01J49/06

CPC分类号： H03K3/42 ,  H01J49/168 ,  H03K3/537

摘要： The invention pertains to the general field of tomography atomic probes, and more particularly to tomography atomic probes that use electric pulses applied to an electrode for vaporising the analysed sample. In order to generate the electric pulse, the tomography atomic probe of the invention includes a high-voltage generator including a path of a semi-conducting material. The probe also includes a light source that can be controlled for generating light pulses applied to the semi-conducting patch. During the entire duration of illumination, the patch is made conductive, thereby electrically contacting the high voltage generator and the electrode so that a potential step is applied on the latter. Le probe further includes means for applying at the end of a time interval Δt
0 a voltage step having an amplitude opposite to that of the previous step so that electrode finally receives a voltage pulse having a duration Δt
0 .

公开(公告)号：EP0942261B1

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：EP99400572.6

申请日：1999-03-09

申请人： CAMECA

发明人： Monsallut, Pierre

IPC分类号： G01B11/22

CPC分类号： G01B11/22

公开(公告)号：EP0942261A1

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：EP99400572.6

申请日：1999-03-09

申请人： CAMECA

发明人： Monsallut, Pierre

IPC分类号： G01B11/22

CPC分类号： G01B11/22

摘要： L'invention concerne un procédé de mesure de fond de cratères en cours de formation sur un échantillon (4) placé à l'intérieur d'une chambre d'analyse d'un analyseur physico-chimique, par interférométrie optique.
Il consiste :

à partager (8) un faisceau laser (6) incident suivant deux bras parallèles, un bras de mesure (1) et un bras de référence (2),
à focaliser à la surface (3) de l'échantillon chacun des deux bras (1, 2), respectivement l'un dans le cratère, l'autre à proximité, suivant une direction incidente inclinée relativement à la surface (3) de l'échantillon (4),
à recombiner (13) les deux faisceaux réfléchis par la surface de l'échantillon pour ne former qu'un seul faisceau,
et à appliquer le faisceau recombiné à un détecteur interférométrique (14) pour mesurer la différence de marche entre les deux faisceaux réfléchis.

Applications : Analyseurs inoniques.

摘要翻译： 该系统使用光学干涉测量，可以在形成火山口的同时进行测量。 用于测量在样品（4）上形成的坑的深度的系统使用光学干涉测量法。 它包括将（8）入射激光束（6）分成两个平行光束，一个是测量光束（1），一个是参考光束（2）。 两个光束中的每一个都被聚焦到样品表面上，一个在火山口中，另一个位于附近，沿着相对于样品表面倾斜的入射方向。 然后将反射光束重新组合以仅形成一个光束。 这被应用于干涉检测器（14）以测量两个反射光束之间的路径差。

公开(公告)号：EP0509887A1

公开(公告)日：1992-10-21

申请号：EP92401010.1

申请日：1992-04-10

申请人： CAMECA

发明人： Hillion, François ,  Colliaux, Daniel

IPC分类号： H01J49/22

CPC分类号： H01J49/025

摘要： Le dispositif comporte plusieurs collecteurs (11) juxtaposés le long du plan de masse (2) de l'appareil de dispersion. Chaque collecteur est couplé à un dispositif de détection (16 i ) par l'intermédiaire d'un secteur électrostatique (14 i ) dont l'angle de courbure (φ) est approximativement égal à l'angle d'inclinaison du plan de masse par rapport à l'axe du faisceau de particules arrivant sur le plan de masse (2) pour redresser l'axe du faisceau de particules perpendiculairement au plan de masse (2).
Applications : Spectromètres de masse.

摘要翻译： 该装置包括若干收集器（11）沿着所述分散装​​置的焦平面（2）并置。 每个收集器是由一个静电扇形（14I）的曲率是谁的角度的方式联接到检测装置（16I）（PHI）近似等于焦平面的倾斜角度相对于所述粒子束到达上的轴线 为了垂直地竖立粒子束的轴线到焦平面（2）的焦平面（2）。 应用：质谱仪。

公开(公告)号：EP0086120B1

公开(公告)日：1986-08-13

申请号：EP83400062.2

申请日：1983-01-11

申请人： CAMECA

发明人： Boissel, Pierre ,  Tong, Mathias

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/02

公开(公告)号：EP0125950A3

公开(公告)日：1986-04-23

申请号：EP84400707

申请日：1984-04-10

申请人： CAMECA

发明人： Slodzian, Georges ,  Lorin, Jean-Claude ,  Dennebouy, Roger ,  Chaintreau, Marcel

IPC分类号： H01J49/30 ,  H01J49/32

CPC分类号： H01J49/30 ,  H01J49/326

公开(公告)号：EP0125950A2

公开(公告)日：1984-11-21

申请号：EP84400707.0

申请日：1984-04-10

申请人： CAMECA

发明人： Slodzian, Georges ,  Lorin, Jean-Claude ,  Dennebouy, Roger ,  Chaintreau, Marcel

IPC分类号： H01J49/30 ,  H01J49/32

CPC分类号： H01J49/30 ,  H01J49/326

摘要： Spectromètre de masse comportant une source d'ions (1), des moyens d'accélération (A) propres à communiquer aux ions une énergie dépendant essentiellement de leur charge électrique, des moyens (11) pour établir dans un secteur (12) un champ magnétique orthogonal au plan de la trajectoire des ions pour incurver cette trajectoire, et des moyens (15) pour détecter des ions. On prévoit à l'entrée (17) du secteur magnétique (12), des moyens électrostatiques (18) propres à modifier la vitesse tangentielle des ions, et donc leur énergie, d'une manière telle que des ions de masses différentes puissent, à des instants différents, suivre la même trajectoire incurvée dans le secteur magnétique (12).
Application, notamment, aux spectromètres de masse à double focalisation.

公开(公告)号：EP0086120A1

公开(公告)日：1983-08-17

申请号：EP83400062.2

申请日：1983-01-11

申请人： CAMECA

发明人： Boissel, Pierre ,  Tong, Mathias

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/02

摘要： L'appareil d'optique électronique est tel que les pièces situées à proximité immédiate de ce faisceau, anode (1), écran (2) placé à l'intérieur du bloc condenseur, écran formé d'un tube (3) et diaphragmes limiteurs (25, 26) à l'intérieur du bloc de déflexion, écran (4) placé entre la lentille finale de focalisation et l'échantillon à observer et électrode collectrice des électrons secondaires (44) ont leurs faces exposées au faisceau électronique constituées de graphite pyrolytique.
Application aux microscopes électroniques à balayage et aux microsondes électroniques.

公开(公告)号：EP2291710B1

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：EP09772274.8

申请日：2009-06-09

申请人： Cameca ,  Centre National de la Recherche Scientifique

发明人： DECONIHOUT, Bernard ,  VURPILLOT, François ,  VELLA, Angela

IPC分类号： G02F1/35 ,  G01N21/62 ,  G01N33/00

CPC分类号： G02F1/353 ,  G02F2001/3528 ,  G02F2202/32