MEMBRANPUMPE UND VORRICHTUNG ZUR STEUERUNG DERSELBEN
    22.
    发明公开
    MEMBRANPUMPE UND VORRICHTUNG ZUR STEUERUNG DERSELBEN 有权
    隔膜泵设备控制该

    公开(公告)号:EP1088166A1

    公开(公告)日:2001-04-04

    申请号:EP99926372.6

    申请日:1999-05-22

    发明人: SIEGEL, Norbert

    IPC分类号: F04B43/067 F04B43/00

    摘要: The invention relates to a diaphragm pump comprising a device for controlling the position of a membrane (4) separating the supply chamber and displacement chamber. To replace the mechanical control of the refilling process a pressure sensor (6) is positioned in the displacement chamber and connected to an evaluation unit (8) which is configured to generate a refill signal that is switched such as to actuate a refill valve (9) by means of an active interconnection (17). A further sensor for detecting the piston path (7) is advantageously provided for whose signal is combined with the signal of the pressure sensor. The invention also relates to a method for controlling the position of a membrane.

    Polarisationsinterferometer mit Schmalbandfilter
    25.
    发明公开
    Polarisationsinterferometer mit Schmalbandfilter 失效
    Polarisationsinterferometer mit Schmalbandfilter。

    公开(公告)号:EP0499074A2

    公开(公告)日:1992-08-19

    申请号:EP92101197.9

    申请日:1992-01-25

    发明人: Wagner, Enzo, Dr.

    IPC分类号: G01B9/02 G02B27/28

    摘要: Die Erfindung betrifft ein Polarisationsinterferometer, insbesondere mit einem Kollimator zur Erzeugung eines parallelen polychromen Lichtstrahls und einem ersten polarisierenden Element, welches den parallelen Lichtstrahl polarisiert, einem doppelbrechenden Element mit mindestens zwei planparallelen Seitenflächen, welche senkrecht zum parallelen, polarisierten Lichtstrahl stehen und einem zweiten polarisierenden Element, welches das aus dem doppelbrechenden Element austretende Licht polarisiert und einem Photonendetektor zuführt, wobei das doppelbrechende Element aus zwei, längs entgegengesetzter Seitenflächen gegeneinander verschiebbar angeordneten, sich zu einem Quader ergänzenden, optischen Keilen und einer als Kompensator dienenden doppelbrechenden planparallelen Platte besteht, die optische Achse des Kompensators gegenüber derjenigen der beiden Keile in der Ebene senkrecht zum Lichtstrahl um einen endlichen Winkel verdreht ist, die optischen Achsen der beiden Keile übereinstimmen und wobei die optischen Achsen der Polarisatoren senkrecht oder parallel zueinander stehen und nicht parallel zu den Achsen der beiden Keile des doppelbrechenden Elementes ausgerichtet sind, wobei im Strahlengang hinter dem zweiten Polarisator und dem zur Auswertung des Interferogramms vorgesehenen Photonendetektors ein Strahlteiler angeordnet ist, wobei vorzugsweise das zweite polarisierende Element als Polarisationsstrahlteiler ausgebildet ist, dem zur Messung der optischen Weglängenänderung ein Filter, vorzugsweise ein Schmalbandinterferenzfilter, mit einem Detektor zugeordnet ist.

    摘要翻译: 本发明涉及一种偏振干涉仪,特别是具有用于产生平行多色光束的准直器和偏振平行光束的第一偏振元件,双折射元件具有垂直于平行光束的至少两个平面平行的侧面 偏振光束以及偏振从双折射元件出射的光并将其馈送到光子检测器的第二偏振元件,双折射元件由两个光楔组成,它们被布置成能够相对于一个 另一个沿着相对侧面并且彼此补充以形成长方体,并且作为用作补偿器的双折射平面平行板,补偿器的光轴相对于垂直于光束的平面中的两个楔的光轴扭曲 通过有限角度,两个楔形的光轴对应于偏振器的光轴 它们彼此垂直或平行并且不平行于双折射元件的两个楔形的轴线,分束器布置在第二偏振器后面的光束路径中,并且用于评估干涉图的光子检测器,第二偏振元件 优选地被构造为用于测量光路长度的变化的偏振分束器,其被分配有具有检测器的滤波器,优选地是窄带干涉滤波器。