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    High aperture catadioptric system
    22.
    发明公开
    High aperture catadioptric system 审中-公开
    Katadioptrisches系统mit hoher Apertur

    公开(公告)号：EP2136231A1

    公开(公告)日：2009-12-23

    申请号：EP08010944.0

    申请日：2008-06-17

    申请人： Carl Zeiss SMT AG

    发明人： Dodoc, Aurelian

    IPC分类号： G02B17/08 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/70225 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0856 ,  G02B17/0888 ,  G02B17/0892 ,  G02B26/06 ,  G02B27/0018 ,  G03F7/70266

    摘要： An optical system forming an image of a pattern provided in an object plane of the optical system in an image plane of the optical system, comprises: a plurality of non-parallel optical axis segments; a plurality of intermediate images; and a plurality of mirrors. Radiation emerging from an intermediate image is incident in this order on a first mirror positioned optically remote from a pupil position, a second mirror positioned optically near to a pupil position to form a pupil mirror, and a third mirror positioned optically remote from a pupil position, prior to forming another intermediate image, wherein the first mirror a first concave mirror, and the third mirror is a second concave mirror.

    摘要翻译： 一种在所述光学系统的像平面中形成设置在所述光学系统的物体平面中的图案的光学系统，包括：多个非平行光轴段; 多个中间图像; 和多个反射镜。 从中间图像出射的辐射以这样的顺序入射到光学远离光瞳位置的第一反射镜上，光学上靠近光瞳位置定位的第二镜，以形成瞳孔镜，以及光学远离光瞳位置的第三镜 在形成另一中间图像之前，其中所述第一反射镜为第一凹面镜，所述第三反射镜为第二凹面镜。

    IMAGE OPTICAL SYSTEM
    24.
    发明公开
    IMAGE OPTICAL SYSTEM 审中-公开
    PICTURES令人信服的光学系统

    公开(公告)号：EP1195635A4

    公开(公告)日：2003-06-11

    申请号：EP00917386

    申请日：2000-04-20

    申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP

    发明人： NAKANO TAKAYUKI ,  TAMAGAWA YASUHISA

    IPC分类号： G02B17/08 ,  G02B27/00

    CPC分类号： G02B17/0888 ,  G02B17/08 ,  G02B27/0025

    摘要： An image optical system comprising a reflecting mirror for focusing incident light from an object to form an image, an aperture stop disposed at the center of curvature of the reflecting mirror, and aberration correcting plate which is disposed near the aperture stop, whose one side is aspherical, and which eleminates the spherical aberration produced by the reflecting mirror, wherin when the aspherical shape of the aberration correcting plate is approximated by a quartic function z=A(y*y*y*y-k*h*h*y*y) where z is the coordinate along the optical axis, y is the coordinate along a line perpendicular to the optical axis, and A is a constant determined by the correction for eliminating the spherical aberration, parameter k is approximately one.

    IMAGE OPTICAL SYSTEM
    25.
    发明公开
    IMAGE OPTICAL SYSTEM 审中-公开
    BILDERZEUGENDES OPTISCHES系统

    公开(公告)号：EP1195635A1

    公开(公告)日：2002-04-10

    申请号：EP00917386.5

    申请日：2000-04-20

    申请人： MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA

    发明人： NAKANO, Takayuki ,  TAMAGAWA, Yasuhisa

    IPC分类号： G02B17/08

    CPC分类号： G02B17/0888 ,  G02B17/08 ,  G02B27/0025

    摘要： An imaging optical system includes a reflecting mirror for imaging incident rays of light from an object, an aperture diaphragm disposed at the center of curvature of the reflecting mirror, and an aberration correcting plate disposed near the aperture diaphragm, having one side of an aspherical shape, and for eliminating spherical aberration produced in the reflecting mirror, in which when a coordinate in a direction of an optical axis is z, a coordinate in a direction vertical to the optical axis is y, a radius of the aperture diaphragm is h, and a constant determined by a correction amount for eliminating the spherical aberration is A, and when the aspherical shape of the aberration correcting plate is approximated by a quartic function, z = A(y*y*y*y - k*h*h*y*y), a parameter k is almost 1.

    摘要翻译： 成像光学系统包括用于对来自物体的入射光入射的反射镜，设置在反射镜的曲率中心处的孔径光阑和设置在孔径光阑附近的像差校正板，具有非球面形状的一侧 并且为了消除在反射镜中产生的球面像差，其中当光轴方向上的坐标为z时，垂直于光轴的方向上的坐标为y，孔径光阑的半径为h，并且 通过用于消除球面像差的校正量确定的常数为A，当像差校正板的非球面形状由四次函数近似时，z = A（y * y * y * y-k * h * h * y * y），参数k几乎为1.

    Verfahren zum Korrigieren von optischen Wellenfrontfehlern und danach hergestelltes optisches System, wie Teleskop
    26.
    发明公开
    Verfahren zum Korrigieren von optischen Wellenfrontfehlern und danach hergestelltes optisches System, wie Teleskop 有权
    校正光学波前误差，然后的方法制成的光学系统，例如望远镜

    公开(公告)号：EP1072922A1

    公开(公告)日：2001-01-31

    申请号：EP99102937.2

    申请日：1999-02-13

    申请人： Leica Geosystems AG

    发明人： Braunecker, Bernhard, Dr. ,  Biber, Massimo

    IPC分类号： G02B17/08 ,  G02B27/00

    CPC分类号： G02B17/0888 ,  G02B17/0832 ,  G02B17/0848 ,  G02B27/0025 ,  G02B27/0037 ,  G02B27/4205 ,  G02B27/4294

    摘要： Bei einem Verfahren zum Korrigieren von optischen Wellenfront fehlern in einem optischen System wird die optische Wellenfront für verschiedene Wellenlängen und Gesichtsfelder zwischen Eintrittspupille (EP) und Austrittspupille (AP) berechnet. Eventuelle Phasenunterschiede werden durch mindestens eine die Phasenunterschiede ausgleichende Fläche (5, 7) im Strahlengang ausgeglichen. Ein besonderes, zweckmässig als Teleskop ausgebildetes, optisches System hat demnach einen Strahlengang, der folgendes umfasst: einen entlang seiner Achse (A) angeordneten ersten Reflektor (3) zum Reflektieren eines entlang einer optischen Achse (O) einfallenden Strahlenbündels (1) auf einen konvexen zweiten Reflektor (4), der das vom ersten Reflektor (3) erhaltene Strahlenbündel auf einen dritten Reflektor (5) wirft, von dem aus es einem konkaven vierten Reflektor (6) zugeführt wird, um unter einem Winkel zur genannten optischen Achse (O) ausgespiegelt zu werden. Im Strahlengang eines derartigen optischen Systems wird eine solche Einrichtung (5, 7) zur Korrektur der Wellenfrontfehler vorgesehen. Die Achse (A) des ersten Reflektors (3) mit der optischen Achse (O) kann gegebenenfalls einen von 0° abweichenden Winkel (α) einschliessen, durch die Einrichtung (5,7) wird die Korrektur von durch die Winkellage entstehende Asymmetriefehler möglich.

    摘要翻译： 光学波前入口侧目镜（EP）和目标侧（AP），在视场之间的各种波长的计算值。 的补偿板（7）被反射器（4,5），用于调节使用计算光学波前相位差之间放置。 因此独立权利要求中包括了以下内容：（一）光学系统的制造方法; （B）的望远镜。