OPTICAL BANDWIDTH METER FOR VERY NARROW BANDWIDTH LASER EMITTED LIGHT
    42.
    发明公开
    OPTICAL BANDWIDTH METER FOR VERY NARROW BANDWIDTH LASER EMITTED LIGHT 有权
    用于激光叶片光学带宽很窄的带宽发出的光

    公开(公告)号:EP1649244A4

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:EP04777419

    申请日:2004-06-29

    Applicant: CYMER INC

    Inventor: RAFAC ROBERT J

    Abstract: A method and apparatus for measuring bandwidth of light emitted from a laser is disclosed which may comprise: a first and second wavelength sensitive optical bandwidth detectors providing, respectively, an output representative of a first parameter indicative of the bandwidth of the emitted light as measured respectively by the first and second bandwidth detectors, and an actual bandwidth calculation apparatus adapted to utilize these two outputs as part of a multivariable linear equation employing predetermined calibration variables specific to either the first or the second bandwidth detector, to calculate a first actual bandwidth parameter or a second actual bandwidth parameter. The first actual bandwidth parameter may be a spectrum full width at some percent of the maximum ("FWXM"), and the second actual bandwidth parameter may be a portion containing some percentage of the energy ("EX"). The first and second bandwidth detectors may an etalon and the outputs may be representative of a fringe width of a fringe of an optical output of the respective etalon at FWXM. The precomputed calibration variables may be derived from respective three dimensional plots representing, respectively, detector outputs in relation to a calibrating input light with known values of the first and second actual bandwidth parameters, which may be FWXM and EX. The first/second three dimensional plot may provide a solution: (first/second output) = (a/d * (calibrating input light known value of FWXM)) + (b/e* (calibrating input light known value of EX) +c/f; and the actual bandwidth calculation apparatus may use the derived equation: (first actual bandwidth parameter) = ((b * (second output)) -(e * (first output)) + ce - bf) / (bd - ae), or the equation: (second actual bandwidth parameter) = ((a * (second output)) - (d * (first output)) + cd - af) / (ae - bd). FWXM may be FWHM and EX may be E95. The transfer function of the first optical bandwidth detector may be selected to be much more sensitive to FWXM than to EX and the transfer function of the second optical bandwidth detector may be selected to be much more sensitive to EX than to FWXM.

    Verfahren zur Erfassung der Lichtleistung einer Sendediode einer optischen Überwachungseinheit sowie geeignete Schaltungsanordnung
    44.
    发明公开
    Verfahren zur Erfassung der Lichtleistung einer Sendediode einer optischen Überwachungseinheit sowie geeignete Schaltungsanordnung 审中-公开
    一种用于检测光监视单元和适当的电路的发射器二极管的光功率的方法

    公开(公告)号:EP1039279A3

    公开(公告)日:2001-03-21

    申请号:EP00104738.0

    申请日:2000-03-04

    CPC classification number: G01J1/42 G01J1/02 G01J1/0228 G01J2001/4252

    Abstract: Bisher wurde die ausgesendete Lichtleistung einer Sendediode, im einfachsten Fall deren Betrieb überhaupt, nicht oder nur durch an äußeren Abdeckungen reflektierte Lichtanteile gemessen bzw. aus dem Flußstrom abgeleitet. Diese Verfahren sind jedoch recht ungenau und stark störanfällig. Indem bei Überwachungseinheiten mit einer Mehrzahl von Sendedioden in der Sendeeinheit nur die zu messende Sendediode Licht emittiert, eine andere der Sendedioden jedoch als Empfänger für das auftretende Übersprechen genutzt und dieses als zur Lichtleistung proportionales Signal ausgewertet wird, kann eine höhere Genauigkeit und Sicherheit gewonnen werden. Dafür bietet sich eine Schaltungsordnung an, bei der jeweils zwei Sendedioden paarweise parallel gleichgepolt in einem Knoten zusammengeschaltet werden und diese wechselseitig entweder als aktive Sendediode mit einer Stromquelle oder als Empfänger mit einem Spannungsabgriff über einem Arbeitswiderstand verbunden werden.

    SOLARELEMENT MIT EINEM MESSSYSTEM ZUR BESTIMMUNG EINER ZUSTANDSÄNDERUNG EINES SENSORS FÜR SOLARSTRAHLUNG SOWIE MESSSYSTEM ZUR BESTIMMUNG EINER ZUSTANDSÄNDERUNG EINES SENSORS FÜR SOLARSTRAHLUNG

    公开(公告)号:EP4431886A2

    公开(公告)日:2024-09-18

    申请号:EP24160175.6

    申请日:2024-02-28

    CPC classification number: G01J1/42 H02S50/15 F24S40/00 G01J1/04 G01J1/0228

    Abstract: Solarelement (1) mit mindestens Fläche (2), die eine Receiverfläche und eine Receiverebene (R) definiert, einem Sensor (4) für Solarstrahlung mit einer Sensorebene (S), wobei der Sensor (4) neben oder unterhalb der Fläche (2) angeordnet ist, und mit einem Messsystem (5) zur Bestimmung einer Zustandsänderung des Sensors (4) für Solarstrahlung, wobei der Sensor (4) mit der Sensorebene (S) parallel oder in einem Winkel von maximal 10° zu der Receiverebene (R) oder in der Receiverebene (R) angeordnet ist, wobei das Messsystem (5) mindestens eine Strahlungsvorrichtung (6) und eine Auswertevorrichtung aufweist, wobei die Strahlungsvorrichtung (6) eine elektromagnetische Strahlung emittierende Strahlungsquelle aufweist, wobei die elektromagnetische Strahlung entlang einer optischen Achse (A) emittiert wird und auf den Sensor (4) gerichtet ist, wobei die Auswertevorrichtung die mindestens eine Strahlungsquelle ansteuert, mindestens einen Messwert des Sensors (4) erfasst und die Zustandsänderung des Sensors (4) durch einen Vergleich des mindestens einen erfassten Messwertes mit mindestens einem zuvor ermittelten Messwert bestimmt, und wobei die Strahlungsvorrichtung (6) unterhalb einer Ebene (9) angeordnet ist, die durch eine Oberkante (4a) des Sensors (4) verläuft und in einem Winkel α≤10° zur Horizontalen in Richtung des Sensors (4) geneigt ist.

    TWO-CHANNEL COMMUNICATION SYSTEMS
    47.
    发明授权

    公开(公告)号:EP3217371B1

    公开(公告)日:2018-11-14

    申请号:EP17160340.0

    申请日:2017-03-10

    Inventor: ORMISTON, Graham

    CPC classification number: G01J1/0228 G08C17/00 H04W4/12

    Abstract: A safety control system comprises: a first control unit 12 arranged to control a controlled system 10, a second control unit 20 arranged to detect a fault with the controlled system and arranged to transmit messages wirelessly to the first control unit, wherein the second control unit 20 comprises: a first controller 24a and a second controller 24b, each of said first and second controllers being arranged to detect a condition of the controlled system 10 and output messages indicative of whether or not the condition has been detected; a transmitter 32 arranged to transmit wirelessly to the first control unit 12; and a multiplexer 30 arranged to connect each of the first and second controllers in turn to the transmitter so that messages from each of the first and second controllers can be transmitted to the first control unit.

    TECHNIQUES FOR LUMEN MAINTENANCE AND COLOR SHIFT COMPENSATION USING A LASER BEAM
    48.
    发明公开
    TECHNIQUES FOR LUMEN MAINTENANCE AND COLOR SHIFT COMPENSATION USING A LASER BEAM 审中-公开
    手法要轻输出和色彩偏移补偿由激光束

    公开(公告)号:EP3165052A1

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:EP15736713.7

    申请日:2015-06-19

    Abstract: Techniques are disclosed for maintaining consistent lumen output of a lighting assembly over time. By maintaining a consistent lumen output, it is possible to maintain acceptable color stability where color mixing of multiple outputs is used. The lighting assembly may be any lighting configuration that might suffer from lumen depreciation and/or color drift over time, and may include any type(s) of light source(s) that may be monitored and driven accordingly. The lighting assembly, in addition to light source(s), includes a photo detector and a directed light source, such as a laser. The directed light source provides a golden sample for use in calibrating the photo detector, which in turn monitors lumen output of the light source(s). Drive signals are adjusted to account for lumen depreciation of the monitored light source(s).

    Abstract translation: 技术是游离缺失盘用于维持照明组件加班的一致的流明输出。 通过保持一致的流明输出,能够保持其中使用多个输出的色混可接受的颜色稳定性。 照明组件可以是任何照明配置做可能从流明和/或颜色漂移受到随着时间的推移,并且可以包括光源(一个或多个)也可以被监测,并相应地驱动的任何类型的(一个或多个)。 照明组件中,除了光源(S),包括一个光电探测器和一个定向光源,颜色:诸如激光。 定向光源提供在校准光检测器,而这又监视器管腔所述光源(S)的输出中使用的金样品。 驱动信号被调整以考虑所监控的光源(一个或多个)的光衰。

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