公开(公告)号：EP3045728A1

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：EP15186607.6

申请日：2015-09-24

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Conrad, Armin

IPC分类号： F04C29/00 ,  F04C18/02

CPC分类号： F04C18/0223 ,  F04C29/0085

摘要： Spiralvakuumpumpe mit einer feststehenden ersten Spirale und einer darin eingreifenden, orbitierenden zweiten Spirale, bei der zum Antrieb ein Elektromotor vorgesehen ist, der in und/oder an wenigstens einer orbitierenden Scheibe und korrespondierend zu der wenigstens einen Scheibe in der Spiralvakuumpumpe integriert ist, der als ein in aktiviertem Zustand eine orbitierende Bewegung der Scheibe relativ zum Stator und damit die orbitierende Bewegung der zweiten Spirale bezüglich der ersten Spirale bewirkender Elektromotor ausgebildet ist, und bei der die wenigstens eine orbitierende Scheibe mittels wenigstens einer im Stator kugelgelagerten Welle gelagert ist, oder die Spiralvakuumpumpe wenigstens zwei Pumpstufen aufweist.

摘要翻译： 具有固定的第一涡旋盘和一个在其中啮合，绕动第二涡卷，其中提供了一种用于驱动电动马达涡卷真空泵，所述一个盘被集成在和/或上的至少一个轨道盘和对应于至少用作涡旋真空泵 盘的使方向电动机的绕动运动是在激活状态相对相对于所述定子，因此，一个绕动盘由至少一个球在定子轴至少轴承，或至少涡卷真空泵支撑形成的第一螺旋的第二螺旋，并且其中的绕动运动 有两个泵送级。

公开(公告)号：EP2990656A3

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：EP15180797.1

申请日：2015-08-12

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Antonacci, Marco ,  Hofmann, Jan ,  Mekota, Mirko ,  Schill, Michael ,  Stoll, Tobias

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D23/00 ,  F04D27/02 ,  F04D29/058

CPC分类号： F04D27/0292 ,  F04D19/048 ,  F04D23/008 ,  F04D29/058 ,  F16C32/0425 ,  F16C35/00 ,  F16C2360/45

摘要： Eine Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe, umfasst einen Rotor (12) mit einer Rotorwelle (14), einem Stator (16) und einem im Bereich des Pumpeneinlasses (18) vorgesehenen Magnetlagerraum (20), in dem zur drehbaren Unterstützung der Rotorwelle (14) ein Magnetlager (22) angeordnet ist. Dabei umfasst die Vakuumpumpe
Mittel zur Beaufschlagung des Magnetlagerraumes (20) mit einem Sperrgas mit Überdruck. Alternativ oder zusätzlich kann die Vakuumpumpe auch Mittel umfassen, um den Magnetlagerraum unter Nutzung des relativ zum Stator rotierenden Rotors zu evakuieren und/oder abzusperren.

摘要翻译： （18）提供了一种真空泵（10），特别是涡轮分子泵或侧信道泵，包括一个转子（12）具有转子轴（14），定子（16）和一个在泵入口的面积为磁性轴承空间（20），其中，用于可旋转支撑的 转子轴（14）设置有磁轴承（22）。 在这种情况下，真空泵包括用超压密封气体作用于磁存储空间（20）的装置。 可选地或附加地，真空泵还可以包括用于使用转子相对于定子旋转来抽空和/或关闭磁存储空间的装置。

公开(公告)号：EP3032107A2

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：EP15191438.9

申请日：2015-10-26

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Bader, Florian ,  Hofmann, Jan

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/32 ,  F04D29/54 ,  F04D29/64

摘要： Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest einen um eine Achse (34) drehbar gelagerten Schaufelrotor (12) umfasst, wobei eine den Schaufelrotor (12) zumindest teilweise umgebende Wand (16) auf wenigstens einem pumpwirksamen Teilbereich ihrer dem Schaufelrotor (12) zugewandten Seite mit zumindest einer Vertiefung versehen ist. Ferner betrifft die Erfindung eine Turbomolekularpumpemit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest in einem Teilaxialbereich von einem Holweckstator umgeben ist, dessen pumpwirksame Seite dem Schaufelrotor (12) der Turbomolekularpumpstufe zugewandt ist.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有至少一个涡轮分子泵级的涡轮分子泵，其包括围绕轴线（34）可旋转地安装桨轮（12），至少一个，其中，所述叶片转子（12）至少部分地环绕壁（16）（至少它们的叶片转子的泵有效部分 12）的朝向侧设置至少一个凹部。 此外，本发明涉及一种Turbomolekularpumpemit至少一个涡轮分子泵阶段，这是至少部分地由一个Holweckstator其有效泵侧朝向涡轮分子泵级的叶片转子（12）所包围的Teilaxialbereich。

公开(公告)号：EP3029324A1

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：EP15197560.4

申请日：2015-12-02

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Oberbeck, Sebastian ,  Conrad, Armin

IPC分类号： F04B37/14 ,  F04B39/08 ,  F04B39/10 ,  F04B45/04

CPC分类号： F04B37/14 ,  F04B39/08 ,  F04B39/104 ,  F04B45/04

摘要： Eine Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe, umfasst wenigstens ein Membranventil, über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird. Das Membranventil ist zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar.

摘要翻译： 一种真空装置，特别是真空泵，其包括通过该介质在吸入阶段吸入和/或在压缩阶段排出的至少一个膜阀。 隔膜阀是磁性支持其打开和/或关闭运动，电磁，电或静电采取行动。

公开(公告)号：EP3026303A1

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：EP14195433.9

申请日：2014-11-28

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Hofmann, Bernd ,  Schweighöfer, Michael ,  Stoll, Tobias ,  Watz, Robert

IPC分类号： F16J15/02 ,  F04D19/04 ,  F04C25/02 ,  F04C27/00 ,  F04D29/08

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/083 ,  F16J15/104

摘要： Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe oder SplitFlow-Pumpe, ist über wenigstens eine Ansaugöffnung mit einem Rezipienten verbindbar und zur Erzeugung eines Drucks kleiner oder gleich 10 -5 mbar, vorzugsweise zur Erzeugung eines Drucks kleiner oder gleich 10 -7 mbar, insbesondere kleiner oder gleich 10 -9 mbar, in dem Rezipienten ausgeführt. Dabei ist zur Abdichtung der Verbindung wenigstens eine Dichtung vorgesehen, die einen Kern, insbesondere einen Elastomerkern, sowie einen Mantel umfasst, der den Kern zumindest teilweise, insbesondere auf dessen der Ansaugöffnung zugewandten Seite, umgibt.

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种真空泵和真空部件，其中通过密封件可以实现非常低的压力，该密封件的结构尽可能简单且成本较低，并且成本较低。解决方案：本发明涉及 真空泵，特别是可以通过至少一个吸入开口部分与接收器连接的涡轮分子泵或分流式泵，形成密封件以在接收器内产生10mbar以下的压力 ，优选为10mbar或更小，特别是10mbar或更小，此时提供至少一个密封件70，并且密封件具有芯，特别是弹性体芯72和盖74，所述盖至少部分地包围芯 72，特别是在吸入口部分的一侧。选择图：图4

公开(公告)号：EP3012459A2

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：EP15185629.1

申请日：2015-09-17

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Gogol, Torsten

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/056 ,  F04D29/059 ,  F04D29/66

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/0563 ,  F04D29/059 ,  F04D29/668 ,  F16C25/083 ,  F16C35/077 ,  F16C2360/45

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (1) mit einem Gehäuse (2), einer Antriebswelle (12), die von wenigstens einer Lageranordnung (45) relativ zum Gehäuse drehbar abgestützt ist, und einem Pumpenmechanismus, der eine Statorkomponente (20), die am Gehäuse (2) angeordnet ist und eine Rotorkomponente (10) aufweist, die auf der Antriebswelle (12) in axialer Nähe der Statorkomponente angeordnet ist, wobei die Lageranordnung (45) wenigstens ein Lager (42) und wenigstens eine Lagerunterstützung (49, 50) aufweist, wobei die Lagerunterstützung (49, 50) wenigstens drei Schwingstäbe (50) aufweist.

摘要翻译： 本发明涉及一种真空泵（1）具有壳体（2），一驱动装置，它是由至少一个轴承组件（45）相对旋转地支承于壳体轴（12），和泵机构，其包括一个定子（20），安装在壳体上 （2）被布置和被布置在所述定子的轴向附近的驱动轴（12），其中，所述轴承装置（45）包括至少一个轴承（42）和至少一个轴承支撑的转子部件（10）（49，50） ，其中所述轴承支撑件（49，50）包括至少三个振动棒（50）。

公开(公告)号：EP1722104B1

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：EP06008149.4

申请日：2006-04-20

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Martin, Harald ,  Sachs, Ronald, Dr.

IPC分类号： F04C18/16 ,  F04C18/08 ,  F04C25/02

CPC分类号： F04C18/084 ,  F04C18/16 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/12 ,  F04C2230/91

公开(公告)号：EP2431568A3

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：EP11007001.8

申请日：2011-08-27

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Baitinger, Gerd ,  Kümmel, Johannes ,  Huber, Peter

IPC分类号： F01C21/00 ,  F04C29/02

摘要： Vakuumpumpe (1) mit einem Montagemittel (6), welches eine der Schwerkraftrichtung entsprechenden Senkrechte (100; 200) festlegt, welche die Flächennormale einer Montageebene bildet, einer Welle (30; 28; 230; 330; 328) mit einer Wellenachse (112; 212), einem Raum (20, 22; 220), welcher zur Aufnahme einer Schmiermittelfüllmenge (72; 74) dient, einer auf der Welle angeordneten Schleuderstruktur (60, 70; 260) zur Verteilung von Schmiermittel im Raum, einem Ölrücklauf (54; 254; 354; 356), welcher den Rücklauf von Schmiermittel in den Raum erlaubt und eine in diesen geöffneten Auslauf (58; 258; 258'; 358) aufweist, wobei eine in Bezug zur Schwerkraftrichtung unterhalb der Welle angeordnete Auslaufebene (108; 208) den Auslauf beinhaltet und parallel zur Montageebene ist, eine Schnittpunktebene (106; 206) den in Bezug zur Schwerkraftrichtung tiefsten im Betrieb der Schleuderstruktur erreichten Punkt (104) beinhaltet und parallel zur Montageebene ist und der Abstand (110; 210) zwischen Auslaufebene und Schnittpunktebene groß ist.

公开(公告)号：EP2957772A3

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：EP15164777.3

申请日：2015-04-23

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Huber, Peter

IPC分类号： F04C25/02 ,  F04C29/04

CPC分类号： F04C25/02 ,  F04C18/12 ,  F04C29/04

摘要： Vakuumpumpe (1) mit einem Gehäuse (2), einer in dem Gehäuse (2) angeordneten, über Wälzlager (7) drehbar gelagerten Welle (6) sowie mit mindestens einem in mindestens einem Gehäuseteil (4) des Gehäuses angeordneten Schmiermittelspeicher (14) zur Aufnahme eines Schmiermittels. In dem mindestens einen mit einem Schmiermittelspeicher (14) versehenen Gehäuseteil (4) des Gehäuses (2) ist mindestens ein Kühlelement (16) angeordnet, das zumindest einseitig in einer Gehäusewand (17) dieses Gehäuseteils (4) festgelegt ist.

摘要翻译： 真空泵（1）具有一个壳体（2），经由滚动轴承（7）可转动地安装的轴（6）在所述壳体（2）设置在一个和在至少一个外壳部分（4）所述壳体的润滑剂储存器（14）布置成与至少一个用于 摄入润滑剂。 在所述至少一个与设置与外壳的壳体部件（4）的润滑剂贮存器（14）（2）被布置在至少一个冷却元件（16），在（4）被固定在该壳体部的壳体壁（17）的至少一个侧面。

公开(公告)号：EP2730782A3

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：EP13181774.4

申请日：2013-08-27

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Bremer, Wolfgang ,  Conrad, Armin

IPC分类号： F03G3/08 ,  H02K7/02 ,  F04D19/04 ,  F03G3/00

摘要： Vorrichtung zur kinetischen Energiespeicherung mit wenigstens einer in einem Motor- und/oder einem Generatorbetrieb betreibbaren Elektromaschine, wobei zur Zwischenspeicherung einer anfallenden Bewegungsenergie zumindest ein Energierückgewinnungssystem vorgesehen ist, welches Bewegungsenergie in elektrische Energie umwandelt, wobei das Energierückgewinnungssystem wenigstens einen Schwungmassenkörper, der als Rotor ausgebildet ist, und einen in einem Gehäuse angeordneten Stator aufweist, wobei der Rotor und der Stator als wenigstens eine Vakuumpumpstufe ausgebildet sind.