摘要:
Schwingungsisolationssystem mit Störgrößenaufschaltung zum Ausgleich masseninduzierter oder anderer Störkräfte, die beispielsweise beim Auswechseln eines Substrats in einem Immersionslithographiegerät in der Halbleiterindustrie auftreten. Das aktive Schwingungsisolationssystem (2) umfasst Aktormittel (3, 8) zur Aufschaltung von Gegenkräften zum Ausgleich der Störkräfte, Sensormittel (41, 51) zur Messung dieser Störkräfte und Steuermittel (4, 5) zur Weitergabe geeigneter Signale an die Aktormittel (3, 8) .
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Die Erfindung betrifft einen Schwingungsisolator zur Verwendung im Vakuum, bei welchem mechanische und elektrische Module innerhalb eines fluiddichten Raums angeordnet sind.
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Die Erfindung betrifft ein Luftlager mit verringerter Strukturresonanz. Ein Kopplungselement, welches der Kolben mit der Last verbindet, ist von der Last um mindestens ein Viertel der Kolbenlänge beabstandet.
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Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Magnetfeldkompensation, welche zwei in unterschiedlichen Frequenzbereichen wirksame Sensoren aufweist und so eine Regelung mit einer Bandbreite von 0 bis 20 kHz ermöglicht.
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Die PWM-Stromversorgungsschaltung (PWM) arbeitet mit einer PWM-Frequenz von etwa 50kHz und mehr. In dem Querzweig der H-Brückenschaltung (HB) ist jedem Anschluss des Gleichstrommotors (M) eine Drossel (L 1 , L 2 ) zugeordnet und der_Gleichstrommotor (M) wird von einem Kondensator (C 1 ) überbrückt.
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Druckgaszufuhrsystem für Gasfedern eines Schwingungsisolationsgehäuses, umfassend: eine Gasfeder (1) mit einer Gasdruckkammer (10), der ein Gasvolumenstrom zur Ergänzung eines Leckstroms zugeführt wird; eine Gasquelle (2) zur Abgabe eines Gashautpstroms; eine Gasstromregeleinrichtung (3) zur Regelung des Gasvolumenstroms an die Gasfeder (1) ; und eine Zufuhrleitung (4), über die das Druckgas von der Gasquelle (2) über die Regeleinrichtung (3) zur Gasfeder (1) fließt. Die Gasstromregeleinrichtung (3) bewirkt eine Feinregulierung des Gashauptstroms. Das Ventilelement (67) weist einen Drosselkolben (69) auf, der in der Zuflusskammer (61) angeordnet ist und bei Druckgefälle an der Drossel (72) das Ventilelement (67) in Schließrichtung mehr oder weniger zu verschieben sucht, so dass bei ansteigendem Druck infolge Druckschwankungen in der Zuflusskammer (61) die Drosselwirkung verstärkt und bei abfallendem Druck vermindert wird, um den Gashauptstrom weitgehend konstant zu halten.
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Die Erfindung betrifft ein Federsystem zur Schwingungsisolation, insbesondere ein vertikal und horizontal wirksames Luftlager mit reduziertem Rauschen, welches ein Basisteil, ein Zwischenteil und einen Kolben umfasst und bei welchem das Zwischenteil durch magnetische Mittel gegen Drehbewegung gesichert ist.