摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Rotor, welcher einen Abschnitt aus einem Faserverbundwerkstoff mit wenigstens einer Faserrichtung umfasst, wobei der Abschnitt wenigstens eine schraubenlinienartig angeordnete Nut aufweist und die Fasern des Faserverbundwerkstoffes derart ausgerichtet sind, dass wenigstens ein Teil der Faser mit der Faserrichtung parallel zu der Nut ausgerichtet ist, so dass der Abschnitt dem Einwirken von Fliehkräften bei Betrieb der Vakuumpumpe widersteht. Die Erfindung betrifft auch einen derartigen Abschnitt und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Abschnittes.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpstufe (100; 610) mit einem Einlass (104; 604), einem Auslass (106; 606), einem Rotor (112; 212; 312) und einem Kanal (108; 208; 308), wobei der Rotor mit einem Rotorabschnitt in den Kanal eintaucht und durch Zusammenwirken von Rotorabschnitt und Kanal eine Pumpwirkung erreicht wird, und mit einem zwischen Einlass und Auslass angeordneten Abstreifer (110). Um eine Vakuumpumpstufe bereitzustellen, die sowohl im viskosen als auch im molekularen Strömungsbereich Kompression und Saugvermögen besitzt, wird vorgeschlagen, dass der Rotorabschnitt Gestaltungselemente (114, 116; 214; 314, 340) aufweist, durch die die Pumpwirkung im molekularen Strömungsbereich nach Gaede und im höheren Druckbereich nach dem Seitenkanalprinzip bewirkt wird.
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Zentrieren und/oder zum Verringern einer Vakuumpumpe und/oder zum Reduzieren eines magnetischen Streufelds einer Vakuumpumpe oder einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe, wobei die Vakuumpumpe oder die Rotationseinheit einen Rotor und einen Stator mit wenigstens einem Permanentmagnetlager aufweist, welches zur gegenseitigen drehbaren Lagerung des Rotors und des Stators ausgebildet ist, bei dem ausgehend von einem Exzentrizitätszustand und/oder ausgehend von einem Streufeldzustand die Form und/oder die materialspezifischen permanentmagnetischen Eigenschaften des Lagers verändert werden, um dadurch das von dem Lager erzeugte Magnetfeld zur Verringerung der Exzentrizität und/oder des von dem Lager zumindest im Betrieb der Vakuumpumpe erzeugten magnetischen Streufelds zu verändern. Die Erfindung betrifft ferner eine nach diesem Verfahren erhaltene oder erhältliche Vakuumpumpe oder Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine trocken laufende Kolbenvakuumpumpe mit einer oder mehreren Pumpstufen, wobei jede Pumpstufe aus einem Zylinder mit Gasauslass- und mindestens einem Gaseinlass und einem darin oszillierende Bewegungen ausführenden Kolben besteht, wobei mindestens einer der Gaseinlässe kolbengesteuert ist, mit einem Antriebssystem mit Kurbeltrieb und Welle, wobei diese Kolbenvakuumpumpe dadurch gekennzeichnet ist, dass das Antriebssystem aus auf der Welle angebrachten Permanentmagnete und ortsfesten elektrischen Spulen besteht, wobei die Spulen ein magnetisches Drehfeld erzeugen.
摘要:
Gasreibungspumpe mit feststehenden pumpaktiven Bauteilen (14) und rotierenden, auf einer drehbaren Rotorwelle (4) fixierten, pumpaktiven Bauteilen (15), wobei die Rotorwelle am hochvakuumseitigen Ende ein Lager (5) und am vorvakuumseitigen Ende eine Lageranordnung besitzt, dadurch gekennzeichnet, dass das hochvakuumseitige Lager ein konventionelles Lager ist und die vorvakuumseitige Lageranordnung mindestens ein Gaslager enthält. In einer vorteilhaften Ausführung sind die Gaslager als Module ausgeführt und können mit einem zylindrischen Gehäuseteil in Eingriff gebracht und gesichert werden.
摘要:
Am Gehäuse (1) einer Gasreibungspumpe, welches mit einer Ansaugöffnung (2) und einer Gasaustrittsöffnung (3) versehen ist, befindet sich ein weiterer Gaseinlass (10). Dieser Gaseinlass weist die Form eines Langloches auf und ist so angebracht, dass er sich in seiner Längsrichtung über einen Teil des äußeren Randes eines rotierenden Bauteiles erstreckt.
摘要:
Die Erfindung beschreibt eine Vakuumpumpe, bestehend aus mehreren Pumpeinheiten (14, 16, 18). Mindestens eine der Pumpeinheiten besteht aus parallel geschalteten Molekularpumpstufen (16a) nach der Bauart von Gaede. Dabei kann eine solche Pumpeinheit aus mehreren Untereinheiten (16a, 16b, 16c) zusammengesetzt sein, welche aus jeweils einzelnen (16c) oder parallel geschalteten (16a, 16b) Gaedepumpstufen bestehen. Die hochvakuumseitige Pumpeinheit (14) kann beispielsweise als Turbomolekularpumpe und die der Seite mit hohem Druck zugewandte Pumpeinheit (18) als Seitenkanalpumpe ausgebildet sein.