VAKUUMPUMPE
    9.
    发明公开
    VAKUUMPUMPE 审中-公开

    公开(公告)号:EP4361449A1

    公开(公告)日:2024-05-01

    申请号:EP24160525.2

    申请日:2024-02-29

    IPC分类号: F04D19/04 F04D29/02

    摘要: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse und zumindest einer in dem Gehäuse angeordneten Pumpstufe, die einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden, mit dem Stator pumpwirksam zusammenwirkenden Rotor umfasst. Der Stator weist wenigstens ein Statorbauteil mit einer Statorbauteiloberfläche auf, und ein Anteil oder die Gesamtheit der Statorbauteiloberfläche ist durch Oxidation behandelt, und/oder der Rotor weist wenigstens ein Rotorbauteil mit einer Rotorbauteiloberfläche auf, und ein Anteil oder die Gesamtheit der Rotorbauteiloberfläche ist durch Oxidation oder durch Beschichten mit einem nickelhaltigen Material behandelt. Das Statorbauteil und/oder Rotorbauteil umfasst einen metallischen Werkstoff, der mindestens ein metallisches Element enthält. Der behandelte Anteil oder die behandelte Gesamtheit der Statorbauteiloberfläche umfasst eine äußere Schicht, die eine durch die Oxidationsbehandlung entstandene Verbindung des metallischen Elements umfasst, und/oder der behandelte Anteil oder die behandelte Gesamtheit der Rotorbauteiloberfläche umfasst eine äußere Schicht, die eine durch die Oxidationsbehandlung entstandene Verbindung des metallischen Elements umfasst, oder die durch die Beschichtung mit dem nickelhaltigen Material gebildet ist und Nickel umfasst.