公开(公告)号：EP2096317A1

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：EP08425120.6

申请日：2008-02-27

申请人： VARIAN S.p.A.

发明人： Crisi, Aldo ,  Buccheri, Gianluca ,  Pandolfo, Vincenzo

IPC分类号： F04D29/26 ,  F04D19/04

CPC分类号： F04D29/266 ,  F04D19/042 ,  Y10T29/49012 ,  Y10T29/49316

摘要： A method of manufacturing a rotor assembly (1) for a rotary vacuum pump comprises the steps of: providing a first material; forming a rotor (3) having a male axial projection (9) from said first material; providing a second material; forming, from said second material, a supporting shaft (11) having an end portion (13) provided with a female cavity (15) whose shape and size are such that the cavity can receive said male projection (9) of the rotor (3) with interference at ambient temperature; heating said end portion (13) in order to obtain an expansion of the female cavity (15) sufficient to enable the introduction of the projection (9); introducing said male projection (9) into said female cavity (15); bringing said end portion (13) back to ambient temperature, thereby obtaining the contraction of the size of the cavity (15) and forming therefore a fixed interference coupling between said shaft (11) and said rotor (3).

摘要翻译： 一种制造用于旋转真空泵的转子组件（1）的方法包括以下步骤：提供第一材料; 从所述第一材料形成具有阳轴向突起（9）的转子（3）; 提供第二种材料; 从所述第二材料形成支撑轴（11），所述支撑轴（11）具有设置有阴空腔（15）的端部（13），所述端部的形状和尺寸使得所述空腔能够容纳所述转子（3）的所述凸形凸起（9） ）在环境温度下具有干扰; 加热所述端部（13）以便获得足够使所述突起（9）引入的所述阴腔（15）的膨胀; 将所述阳突起（9）引入所述阴腔（15）中; 使所述端部（13）回​​到环境温度，从而获得所述空腔（15）的尺寸的收缩，并因此形成所述轴（11）和所述转子（3）之间的固定干涉耦合。

公开(公告)号：EP1753958B1

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：EP05738125.3

申请日：2005-04-26

申请人： Edwards Limited

发明人： NORTH, Phillip, c/o BOC Edwards ,  MANSON, David, Paul, c/o BOC Edwards

IPC分类号： F04B53/00 ,  C23C16/44

CPC分类号： F04D19/046 ,  C23C16/4412 ,  F04B53/06 ,  F04D19/042 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/87877

摘要： A system (100) for supplying an inert purge gas to a pumping arrangement (106) includes a plurality of flexible capillary tubes (102) each for conveying the gas from a respective outlet of a manifold (12) to a respective port (104) of the pumping arrangement (106). The internal diameter and length of each tube (102) control the gas flow rate to the respective port (104).

公开(公告)号：EP2053249A2

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：EP08016948.5

申请日：2008-09-26

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Böttcher, Jochen

IPC分类号： F04D17/16 ,  F04D19/04 ,  F04D27/02

CPC分类号： F04D17/168 ,  F04D19/042 ,  F04D27/0207 ,  F04D27/0261 ,  F04D27/0284

摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer Vakuumpumpe (1) und ein Flutverfahren. Um das Fluten an den Prozess anzupassen, wird vorgeschlagen, einen Flutparameter (8) aus einer Menge von Flutparametern auszuwählen. Die Anordnung umfasst vorschlagsgemäß einen Flutparameterspeicher (7) und ein Flutparameterwählmittel (6).

摘要翻译： 该方法包括在选择步骤中的流程处理之前从一定数量的流量参数中选择流量参数（8）。 真空装置包括真空泵（1），驱动电子装置（3），阀门和阀门装置。 在选择步骤之前的步骤中打开阀，其中在阀的打开期间检测到驱动电子器件的参数。 包括具有用于控制发动机的发动机和驱动电子装置的真空泵的装置的独立权利要求。

公开(公告)号：EP2039941A2

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：EP08016073.2

申请日：2008-09-12

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Zipp, Andreas

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/08 ,  F04D29/42 ,  F04D29/70

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/083 ,  F04D29/4213 ,  F04D29/701

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (100) mit Gaseinlass und schnelldrehendem Rotor (124), welche mit einem mit mehreren durch eine Trennwand (106) getrennten Ansaugöffnungen versehenen Flansch (118) einer Mehrkammervakuumanlage verbindbar ist. Um bei einem einfachen Aufbau in der Lage einen Druckunterschied zwischen den Kammern (102,103) aufrecht zu erhalten, wird vorgeschlagen, im Gaseinlass eine diesen in Ansaugbereiche unterteilende Gaswegtrennstruktur (127,128,129) angeordnet ist, welche derart gestaltet ist, dass sie zusammen mit der Trennwand (106) eine Abdichtung der Kammern bewirkt.

摘要翻译： 泵（100）具有气体入口和快速旋转的转子（124），其中转子与多室真空系统（101）的凸缘（118）连接。 凸缘设有由分隔壁（106）分开的抽吸开口。 在气体入口设置有气体路径分离结构，其中结构被设计成结构使多室真空系统的真空室（102,103）与隔离壁一起密封。 中心盘（129）与杆（127,128）一起形成气体路径分离结构。

公开(公告)号：EP1972794A2

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：EP08004892.9

申请日：2008-03-15

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Koci, Bernd

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/063 ,  F04D29/059

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/059 ,  F04D29/063 ,  F16C19/06 ,  F16C33/3806 ,  F16C33/414 ,  F16C33/62 ,  F16C33/6681 ,  F16C2360/45 ,  F16N7/12 ,  F16N7/366

摘要： Vakuumpumpe (1) mit schnelldrehendem Rotor (2,3), einem den Rotor drehbar unterstützenden Wälzlager, welches einen Innenring (20) und Außenring (21) aufweist, zwischen denen ein Käfig (22) und ein Wälzkörper (23) in einem durch den Innenring und den Außenring definierten Zwischenraum angeordnet sind. Um eine kontinuierliche Förderung eines Schmiermittels zu dem Wälzkörper (23) zu gewährleisten wird vorgeschlagen, dass der Käfig (22) eine gewindeartige Nut (28) in einem dem Innenring (20) zugewandten Abschnitt seiner Oberfläche aufweist.

摘要翻译： 泵（1）具有由具有内圈（20）和外圈（21）的滚子轴承支撑的快速旋转的转子（2,3），在它们之间的保持架（22）和辊体（23）之间的保持架 在内圈和外圈之间的中间空间。 保持架在其表面的面向内圈的部分中具有螺旋槽，以确保润滑剂连续供给到辊体。

公开(公告)号：EP1921322A3

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：EP07021358.2

申请日：2007-11-02

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Koch, Bernhard ,  Stanzel, Jörg

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/06 ,  F16N7/36 ,  F16C33/66

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/0563 ,  F04D29/059 ,  F04D29/063 ,  F16C19/06 ,  F16C33/664 ,  F16C33/6659 ,  F16C2360/45 ,  F16N7/12 ,  F16N7/366

摘要： Die Erfindung betrifft ein Lagermodul (1) für Vakuumpumpe mit einer schnelldrehenden Welle (2), welches einen Außenring (20) eines Wälzlagers und einen Schmiermittelspeicher (21) beinhaltet, wobei der Schmiermittelspeicher eine Struktur (22) aufweist, die mit einer wellenseitigen Förderstruktur (23), welche über Fliehkräfte das Schmiermittel in das Wälzlager fördert, in gleitendem Kontakt steht. Um bei einfacher Konstruktion eine Fähigkeit zur Orientierung der Turbomolekularpumpe in vielen Raumrichtungen zu erreichen, schlägt die Erfindung vor, dass ein radiales Fördermittel (25;46) auf der der Struktur gegenüberliegenden Seite des Lagers angeordnet ist, welches eine Rückförderung des Schmiermittels in den Schmiermittelspeicher bewirkt.

公开(公告)号：EP1921322A2

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：EP07021358.2

申请日：2007-11-02

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Koch, Bernhard ,  Stanzel, Jörg

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/06 ,  F16N7/36 ,  F16C33/66

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/0563 ,  F04D29/059 ,  F04D29/063 ,  F16C19/06 ,  F16C33/664 ,  F16C33/6659 ,  F16C2360/45 ,  F16N7/12 ,  F16N7/366

摘要： Die Erfindung betrifft ein Lagermodul (1) für Vakuumpumpe mit einer schnelldrehenden Welle (2), welches einen Außenring (20) eines Wälzlagers und einen Schmiermittelspeicher (21) beinhaltet, wobei der Schmiermittelspeicher eine Struktur (22) aufweist, die mit einer wellenseitigen Förderstruktur (23), welche über Fliehkräfte das Schmiermittel in das Wälzlager fördert, in gleitendem Kontakt steht. Um bei einfacher Konstruktion eine Fähigkeit zur Orientierung der Turbomolekularpumpe in vielen Raumrichtungen zu erreichen, schlägt die Erfindung vor, dass ein radiales Fördermittel (25;46) auf der der Struktur gegenüberliegenden Seite des Lagers angeordnet ist, welches eine Rückförderung des Schmiermittels in den Schmiermittelspeicher bewirkt.

摘要翻译： 轴承模块（1）具有快速旋转的轴，其具有用于可旋转地支撑轴（2）的滚动轴承，用于具有与输送结构（22）形成滑动接触的元件的润滑剂的储存器（21）被支撑在 轴，用于在轴的旋转期间产生的离心力的作用下在滚动轴承中输送润滑剂。 径向输送（25,46）设置在滚动轴承的与输送结构所位于的轴承侧相对的一侧，用于使润滑剂返回到储存器。 包括真空泵的独立权利要求。

公开(公告)号：EP1890041A3

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：EP07013846.6

申请日：2007-07-14

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Eilers, Martin ,  Rippl, Andreas ,  Rippl, Christopher Mark ,  Stoll, Tobias

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/056 ,  F16C27/08 ,  F16C39/06

CPC分类号： F16C39/063 ,  F04D19/042 ,  F04D29/0563 ,  F04D29/059 ,  F04D29/668 ,  F16C27/04 ,  F16C27/08 ,  F16C32/0425 ,  F16C2360/45

摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Lagerung einer Welle (4) einer Vakuumpumpe mit einem Gehäuse (3a,3b,3c), mit einem ersten Lager (8), welches Kräfte in Richtung der Wellenachse erzeugt und eine axiale Steifigkeit besitzt, mit einem zweiten Lager (9), welches als Wälzlager ausgebildet ist und in einer Halterung (10) mit axialer und radialer Steifigkeit angeordnet ist. Um zu vermeiden, dass bei Belastung des zweiten Lagers (9) durch hohe axiale Kräfte die Schwingfähigkeit des Lagers verloren geht, wird vorgeschlagen, dass die Halterung (10) eine Schwingbühne (20) und eine Fixierung (21) umfasst, wobei die Schwingbühne über axiale und radiale Bewegungen der Schwingbühne erlaubende, metallische Verbindungselemente (22) mit der im Gehäuse gehalterten Fixierung verbunden ist, und dass durch zwischen Schwingbühne und Fixierung angeordneten Axialfedern (25,32) die Steifigkeit der Halterung in axialer Richtung größer als die Steifigkeit der Halterung in radialer Richtung ist, wobei die axiale Steifigkeit der Halterung größer als die des ersten Lagers (8) ist.

公开(公告)号：EP1880111A1

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：EP06754953.5

申请日：2006-05-02

申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH

发明人： KALISCH, Dirk ,  STOLLE, Robert ,  ODENDAHL, Heinz-Dieter

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/64 ,  F04D29/66

CPC分类号： F04D29/601 ,  F04D19/042 ,  F04D27/008

摘要： The invention relates to a vacuum pump arrangement, particularly an arrangement of turbomolecular pumps, comprising a pump housing (10) with a rotor (14) and a stator (16). The pump housing (10) is connected to a vacuum chamber housing (26) via a pump flange (30). Holding elements (34) are provided for the connection thereof. In the event of damage, for example, when the rotor (14) is blocked and high torques occur, and in order to prevent torsion of the holding element (34), the latter (34) comprises an anti-torsion mechanism (40) cooperating with the vacuum chamber housing (26).

公开(公告)号：EP1030062B1

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：EP00103326.5

申请日：2000-02-21

申请人： EBARA CORPORATION

发明人： Miyamoto, Matsutaro ,  Ogamino, Hiroaki

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D27/02

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D27/008 ,  F04D29/522 ,  F04D29/701