Integrierter CMOS-Weitband-Taktgeber mit differentiellem Aufbau
    1.
    发明公开
    Integrierter CMOS-Weitband-Taktgeber mit differentiellem Aufbau 有权
    集成CMOS宽带用差分结构时钟

    公开(公告)号:EP2388908A3

    公开(公告)日:2014-10-08

    申请号:EP11162921.8

    申请日:2011-04-19

    IPC分类号: H03B5/12

    摘要: Differentieller Weitband-Taktgeber mit einem spannungsgesteuertem Oszillator zum Erzeugen eines differentiellen Oszillatorsignals, umfassend zwei kreuzgekoppelte PMOS-Transistoren, welche jeweils einen Source-Anschluss, einen Drain-Anschluss und einen Gate-Anschluss aufweisen, umfassend eine symmetrische Kapazitätsdiodenschaltung, welche eine durch eine Steuerspannung einstellbare Kapazität aufweist, welche zwischen den beiden Drain-Anschlüssen wirkt, umfassend eine zur Kapazitätsdiodenschaltung parallel geschaltete Induktivitätsschaltung, welche einen Mittenabgriff aufweist, und umfassend zwei Ausgangsanschlüsse zum Abgreifen des differentiellen Oszillatorsignals, welche jeweils mit einem der Drain-Anschlüsse verbunden sind, mit einem positiven Versorgungskontakt und einem negativen Versorgungskontakt und mit einer Ruhestromquelle zur Beaufschlagung des Oszillators mit einem Ruhestrom, deren erster Pol mit dem positiven Versorgungskontakt und deren zweiter Pol mit den Source-Anschlüssen der PMOS-Transistoren verbunden ist, wobei ein einstellbarer Diodenblock vorgesehen ist, der eine Vielzahl von NMOS-Transistoren umfasst, welche jeweils einen Source-Anschluss, einen Drain-Anschluss und einen Gate-Anschluss aufweisen, wobei deren Drain-Anschlüsse mit dem Mittenabgriff der Induktivitätsschaltung und deren Source-Anschlüsse mit dem einen negativen Versorgungskontakt verbunden sind, wobei jedem der NMOS-Transistoren jeweils eine Steuerschaltung zugeordnet ist, welche in Abhängigkeit eines binären Programmiersignals den jeweiligen Gate-Anschluss entweder mit dem jeweiligen Drain-Anschluss oder mit dem jeweiligen Source-Anschluss verbindet.

    METHOD FOR DETECTING ACCELERATIONS AND ROTATION RATES, AND MEMS SENSOR
    2.
    发明授权
    METHOD FOR DETECTING ACCELERATIONS AND ROTATION RATES, AND MEMS SENSOR 有权
    法的加速和旋转速度和MEMS传感器的检测

    公开(公告)号:EP2414773B1

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:EP10713141.9

    申请日:2010-02-22

    摘要: The invention concerns a MEMS sensor and a method for detecting accelerations along, and rotation rates about, at least one, preferably two of three mutually perpendicular spatial axes x, y and z by means of a MEMS sensor (1), wherein at least one driving mass (6; 6.1, 6.2) and at least one sensor mass (5) are moveably arranged on a substrate (2) and the at least one driving mass (6; 6.1, 6.2) is moved relative to the at least one sensor mass (5) in oscillation at a driving frequency and when an external acceleration of the sensor occurs, driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and sensor mass/es (5) are deflected at an acceleration frequency and, when an external rotation rate of the sensor (1) occurs, are deflected at a rotation rate frequency, and the acceleration frequency and rotation rate frequency are different. At the MEMS-sensor the driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and sensor mass/es (5) are arranged on the substrate (2), and are balanced in the resting state by means of at least one of the anchors (3). In the driving mode the driving mass/es (6; 6.1, 6.2), when vibrating in oscillation about this at least one anchor (3), generate/s an imbalance of the driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and the sensor mass/es (5) with respect to this at least one anchor (3), and the sensor elements detect deflections of the driving and sensor masses, due to torques and Coholis forces generated, with an acceleration frequency and/or a rotation rate frequency.

    MICRO-GYROSCOPE FOR DETECTING MOTIONS
    7.
    发明公开
    MICRO-GYROSCOPE FOR DETECTING MOTIONS 有权
    微陀螺,用于检测运动

    公开(公告)号:EP2561313A1

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:EP11715917.8

    申请日:2011-04-19

    发明人: DR. KEMPE, Volker

    IPC分类号: G01C19/56

    摘要: The invention relates to a micro-gyroscope for detecting motions relative to an X and/or Y and Z axis, particularly as a 3D, 5D, or 6D sensor. Said micro- gyroscope comprises a substrate (2), a plurality of oscillating sample masses (1 ), an anchor (3, 4), and anchor springs (5, 6) disposed between the anchor (3, 4) and the sample mass (1 ) for attaching the oscillating sample masses (1 ) to the substrate (2), drive elements (15) for oscillating the sample masses (1 ) in the X-Y plane, in order to generate Coriolis forces when the substrate (2) is rotated and sensor elements (22), particularly electrodes disposed below the sample masses (1 ), in order to capture the deflections of the sample masses (1 ) due to the Coriolis forces generated. The sample masses (1 ) are disposed uniformly about a central anchor (3) and can be driven radially relative to the central anchor (3). The anchor springs (5, 6) are designed such that the sample masses (1 ) can be deflected both radially in the X-Y plane and out of the X-Y plane. A sensor mass (20) is disposed on one, particularly on each of the sample masses (1 ) by means of sensor springs (21 ), and the sensor springs (21 ) allow deflection of the sensor mass (20) within the plane of the sample mass (1 ) or the X-Y plane, and orthogonal to the radial drive direction of the sample masses (1 ).