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公开(公告)号：EP4248272A1
公开(公告)日：2023-09-27
申请号：EP21824430.9
申请日：2021-12-08
发明人： HUNT, Lucas J. , SONNIER, Ashley R. , ZHU, James , KUSILEK, Edwin L. , ARMSTRONG, Paul B. , KOLB, William B. , NELSON, Caleb T. , SOLOMON, Jeffrey L. , NELSON, James M. , HEI, Samuel R. , TARNOWSKI, David J. , VAN LENGERICH, Henrik B.
IPC分类号： G03F7/00
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公开(公告)号：EP3732047A1
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：EP18894873.1
申请日：2018-12-26
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公开(公告)号：EP3700725A1
公开(公告)日：2020-09-02
申请号：EP18800326.3
申请日：2018-10-18
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公开(公告)号：EP3762965A1
公开(公告)日：2021-01-13
申请号：EP19763578.2
申请日：2019-02-27
发明人： MAHAJAN, Ankit , PEKUROVSKY, Mikhail L. , SHAH, Saagar A. , METZLER, Thomas J. , MEYERS, Kara A. , ZHU, James , GOEDDEL, Teresa M. , PEKUROVSKY, Lyudmila A. , KEMLING, Jonathan W. , LARSEN, Jeremy K.
IPC分类号： H01L23/528 , H01L23/00 , H01L23/31 , H01L23/29 , H01L25/065
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公开(公告)号：EP3639281A1
公开(公告)日：2020-04-22
申请号：EP18816861.1
申请日：2018-06-07
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公开(公告)号：EP3878006A1
公开(公告)日：2021-09-15
申请号：EP19882057.3
申请日：2019-11-08
发明人： VAN LENGERICH, Henrik B. , STENSVAD, Karl K. , KUSILEK, Edwin L. , STAY, Matthew S. , NELSON, Caleb T. , LYONS, Christopher S. , DAVID, Moses M. , SOLOMON, Jeffrey L. , WOLK, Martin B. , ERICKSON, Nicholas C. , ZHU, James , NELSON, James M.
IPC分类号： H01L21/027 , B29C59/00 , B82Y40/00 , G03F7/00
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公开(公告)号：EP3814140A1
公开(公告)日：2021-05-05
申请号：EP19824771.0
申请日：2019-06-21
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公开(公告)号：EP3732046A1
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：EP18893883.1
申请日：2018-12-26
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公开(公告)号：EP3512986A2
公开(公告)日：2019-07-24
申请号：EP17851398.2
申请日：2017-09-12
IPC分类号： C25D5/02 , C25D17/00 , H01L21/027 , G03F7/00 , B21B27/02
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