公开(公告)号：EP0735575B1

公开(公告)日：2002-01-02

申请号：EP96200869.4

申请日：1996-03-29

申请人： ASM INTERNATIONAL N.V.

发明人： Huussen,Frank ,  Berenpas, Gerard ,  Hasper, Albert ,  De Ridder, Chris G.M.

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67115

公开(公告)号：EP0735575A1

公开(公告)日：1996-10-02

申请号：EP96200869.4

申请日：1996-03-29

申请人： ASM INTERNATIONAL N.V.

发明人： Huussen,Frank ,  Berenpas, Gerard ,  Hasper, Albert ,  De Ridder, Chris G.M.

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67115

摘要： Vertical furnace for processing wafers positioned on a support structure. The furnace comprises an inner sleeve, heating means and an outer sleeve. To support the inner sleeve on the support structure a support sleeve is provided engaging with its top end lower part of the inner sleeve and resting with its lower end on the support structure.

摘要翻译： 用于处理位于支撑结构上的晶圆的立式炉。 炉包括内套筒，加热装置和外套筒。 为了支撑支撑结构上的内套筒，提供支撑套筒，其与内套筒的顶端下部接合，并将其下端搁置在支撑结构上。