公开(公告)号：EP4121819A1

公开(公告)日：2023-01-25

申请号：EP21706970.7

申请日：2021-02-25

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： VAN DE VEN, Bastiaan, Lambertus, Wilhelmus, Marinus ,  ENGELEN, Johannes, Bernardus, Charles ,  NOTENBOOM, Arnoud, Willem ,  OVERKAMP, Jim, Vincent ,  JANSSEN, Kjeld, Gertrudus, Hendrikus ,  PIJNENBURG, Johannes, Adrianus, Cornelis, Maria ,  VAN DUIVENBODE, Jeroen ,  NIEUWENHUIS, Erik, Johannes ,  VAN BERKEL, Koos

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

公开(公告)号：EP4165472A1

公开(公告)日：2023-04-19

申请号：EP21731762.7

申请日：2021-06-09

申请人： ASML Netherlands B.V. ,  ASML Holding N.V.

发明人： VAN DE VEN, Bastiaan, Lambertus, Wilhelmus, Marinus ,  VAN BERKEL, Koos ,  VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus ,  HAMELINCK, Roger, Franciscus, Mattheus, Maria ,  SHERVIN, Shahab ,  VERSCHUREN, Marinus, Augustinus, Christiaan ,  ENGELEN, Johannes, Bernardus, Charles ,  KRUIZINGA, Matthias ,  UITTERDIJK, Tammo ,  GALAKTIONOV, Oleksiy, Sergiyovich ,  JANSSEN, Kjeld, Gertrudus, Hendrikus ,  PIJNENBURG, Johannes, Adrianus, Cornelis, Maria ,  VAN DELFT, Peter

IPC分类号： G03F7/20