公开(公告)号：EP3180801A1

公开(公告)日：2017-06-21

申请号：EP15797245.6

申请日：2015-08-14

申请人： ATV Technologie GmbH

发明人： RANGELOV, Ventzeslav ,  KOWALSKY, Siegfried ,  PORT, Walter ,  KOCH, Roland

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/603

CPC分类号： H01L24/75 ,  B23K1/0016 ,  B23K3/04 ,  B23K3/087 ,  B23K20/023 ,  B23K2201/40 ,  H01L24/32 ,  H01L24/83 ,  H01L24/95 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/75102 ,  H01L2224/75251 ,  H01L2224/75252 ,  H01L2224/75283 ,  H01L2224/75314 ,  H01L2224/75315 ,  H01L2224/7555 ,  H01L2224/7598 ,  H01L2224/83065 ,  H01L2224/83203 ,  H01L2224/83209 ,  H01L2224/8323 ,  H01L2224/83447 ,  H01L2224/83825 ,  H01L2224/8384 ,  H01L2224/95 ,  H01L2224/95093 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/83

摘要： The invention relates to an apparatus for especially thermally joining micro-electromechanical parts (2, 3) in a process chamber (8), comprising a bottom support plate (11) for holding at least one first (2) of the parts (2, 3) to be joined, and a pressing device (15) for applying pressure to at least one second (3) of the parts (2, 3) to be joined in relation to the at least one first part (2). The pressing device (15) is equipped with an expandable membrane (19) provided for entering in contact with the at least one second part (3). Fluid pressure, in particular gas pressure, can be applied to said membrane (19) on the side thereof facing away from the parts (2, 3) to be joined.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在处理室（8）中特别热连接微机电部件（2,3）的设备，该设备包括用于保持至少一个第一部件（2）的底部支撑板（11） 以及用于将压力施加到至少一个待连接部件（2,3）中的至少一个第二部件（3）上的压紧装置（15），所述压紧装置（15）相对于所述至少一个第一部件（2）被连接。 按压装置（15）配备有设置用于与至少一个第二部分（3）接触的可膨胀膜（19）。 流体压力，尤其是气体压力，可以在背离待连接的部件（2,3）的一侧上施加到所述膜（19）。