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公开(公告)号：EP3133014B1
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：EP16001567.3
申请日：2016-07-15
CPC分类号： B64C23/005 , B64C2230/12 , B64D2211/00 , F15D1/10 , H01L27/20 , Y02T50/166 , Y02T50/55
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公开(公告)号：EP3165468B1
公开(公告)日：2019-03-13
申请号：EP16002328.9
申请日：2016-11-02
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3.发明公开
公开(公告)号：EP3277060A1
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：EP17001095.3
申请日：2017-06-28
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H05H1/46 , H01Q1/425 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2425
摘要： Es wird ein mikroelektronisches Modul zur Veränderung der elektromagnetischen Signatur einer Oberfläche angegeben. Das mikroelektronische Modul weist wenigstens einen Spannungswandler zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung in eine höhere, niedrigere oder identische zweite Spannung auf. Weiter weist das mikroelektronische Modul wenigstens einen Aktuator auf. Der Aktuator weist wenigstens einen Generator zur Erzeugung eines elektrischen Plasmas aus der von dem Spannungswandler bereitgestellten zweiten Spannung auf. Wenigstens der Spannungswandler und der Aktuator sind auf einem dünnschichtigen flächigen Substrat angeordnet. Das durch den Aktuator erzeugte elektrische Plasma interagiert mit einer auf die Oberfläche auftreffenden elektromagnetischen Strahlung wodurch eine Veränderung der elektromagnetischen Signatur erfolgt.
摘要翻译： 描述了用于改变表面的电磁签名的微电子模块。 微电子模块具有至少一个电压转换器，用于将提供的第一电压转换为更高，更低或相同的第二电压。 此外，微电子模块具有至少一个致动器。 致动器具有至少一个发生器，用于从电压转换器提供的第二电压产生电等离子体。 至少电压转换器和致动器被布置在薄层平坦基板上。 由致动器产生的电等离子体与撞击在表面上的电磁辐射相互作用，由此发生电磁签名的改变。
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4.发明公开MIKROELEKTRONISCHES MODUL ZUR REINIGUNG EINER OBERFLÄCHE, MODULANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR REINIGUNG EINER OBERFLÄCHE 审中-公开微电子模块用于清洁表面，模块和方法用于清洁表面
公开(公告)号：EP3165468A1
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：EP16002328.9
申请日：2016-11-02
CPC分类号： B08B7/0035 , B08B6/00 , B08B13/00 , B60S1/62 , B63B59/00 , B64D15/163 , B64D2211/00 , B64F5/30
摘要： Es wird ein mikroelektronisches Modul (100) zur Reinigung einer Oberfläche angegeben. Das mikroelektronische Modul weist wenigstens einen Spannungswandler (101) zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung (V1) in eine höhere, niedrigere oder identische zweite Spannung (V2) auf. Weiter weist das Modul wenigstens einen Aktuator (102) auf. Der Aktuator weist wenigstens einen Generator (103) zur Erzeugung eines Ionenstroms, eines elektrischen Plasmas, von Oberflächenwellen und/ oder eines elektrostatischen Feldes aus der von dem Spannungswandler bereitgestellten zweiten Spannung auf. Wenigstens der Spannungswandler und der Aktuator sind auf einem gemeinsamen dünnschichtigen flächigen Substrat (104) angeordnet. Mittels des Aktuators erfolgt die wenigstens überwiegende Entfernung wenigstens eines an der Oberfläche haftenden Objekts.
摘要翻译： 用于清洁表面的微电子模块进行说明。 所述微电子模块包括至少一个电压转换器，用于提供到一个更高，更低的或相同的第二电压的第一电压。 因此，该模块包括至少一个执行机构。 致动器包括至少一个发电机在离子电流产生电等离子体，高次谐波成分和/或从所述第二电压的静电场的所有其由所述电压转换器提供。 至少所述电压转换器和所述致动器被设置在薄膜的平面基片。 至少大部分的至少一个对象粘附到表面上的由致动器去除。
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5.发明公开MIKROELEKTRONISCHES MODUL, MODULARRAY UND VERFAHREN ZUR STRÖMUMGSBEEINFLUSSUNG 审中-公开维多利亚州立大学的模块化MODUARREN ZURSTRÖMUMGSBEEINFLUSSUNG
公开(公告)号：EP3133014A1
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：EP16001567.3
申请日：2016-07-15
CPC分类号： B64C23/005 , B64C2230/12 , B64D2211/00 , F15D1/10 , H01L27/20 , Y02T50/166
摘要： Das vorgeschlagene mikroelektronische Modul (100) zur Beeinflussung einer Fluidströmung weist auf einem dünnschichtigen flächigen Substrat (104) wenigstens einen Spannungswandler (101) zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung in eine zweite Spannung und wenigstens ein aktives Strömungsbeeinflussungselement (103) zur Beeinflussung der Richtung und/oder der Geschwindigkeit eines das Strömungsbeeinflussungselement um-/überströmenden Fluiden auf. Vorzugsweise ist der Spannungswandler ein piezoelektrischer Transformator und das Strömungsbeeinflussungselement ist ein asymmetrisch aufgebauter Kondensator, der einen lonenstrom erzeugt.
摘要翻译： 提供了一种用于影响流体流动的微电子模块。 该模块包括至少一个电压转换器，用于将所提供的第一电压转换成较高，较低或相同的第二电压。 模块还包括用于影响在流动影响元件周围和/或上方流动的流体的方向和/或速度的至少一个主动流量影响元件。 至少电压转换器和主动流量影响元件设置在薄膜平面基板上。 流体的方向和/或速度的影响取决于作为由流量影响元件处的电压转换器提供的第二电压的函数的流体动力学加速度。
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