公开(公告)号：EP3126541A1

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：EP14715572.5

申请日：2014-04-02

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： RIES, Florian ,  HEIN, Stefan ,  HENRICH, Jürgen ,  SAUER, Andreas

IPC分类号： C23C14/52 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54

CPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/52 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562 ,  C23C16/54 ,  C23C16/545

摘要： A vacuum processing system for a flexible substrate is provided. The processing system includes a first chamber adapted for housing one of a supply roll for providing the flexible substrate and a take-up roll for storing the flexible substrate; a second chamber adapted for housing one of a supply roll for providing the flexible substrate and a take-up roll for storing the flexible substrate; a maintenance zone between the first chamber and the second chamber; and a first process chamber for depositing material on the flexible substrate, wherein the second chamber is provided between the maintenance zone and the first process chamber. The maintenance zone allows for maintenance access to at least one of the first chamber and the second chamber.

摘要翻译： 提供了一种用于柔性基底的真空处理系统。 处理系统包括适于容纳用于提供柔性基板的供应辊之一和用于存储柔性基板的卷取辊的第一室; 第二室，适于容纳用于提供柔性基板的供应辊中的一个;以及用于存储柔性基板的卷取辊; 第一室和第二室之间的维护区; 以及用于在柔性基板上沉积材料的第一处理室，其中第二室设置在维护区和第一处理室之间。 维护区允许对第一室和第二室中的至少一个进行维护。