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    MÉTHODE DE POMPAGE DANS UN SYSTÈME DE POMPES À VIDE ET SYSTÈME DE POMPES À VIDE
    1.
    发明公开
    MÉTHODE DE POMPAGE DANS UN SYSTÈME DE POMPES À VIDE ET SYSTÈME DE POMPES À VIDE 审中-公开
    MÉTHODEDE POMPAGE DANS UNSYSTÈMEDE POMPESÀVIDE ETSYSTÈMEDE POMPESÀVIDE

    公开(公告)号：EP3161318A1

    公开(公告)日：2017-05-03

    申请号：EP14738765.8

    申请日：2014-06-27

    申请人： Ateliers Busch S.A.

    发明人： MÜLLER, Didier ,  LARCHER, Jean Eric ,  ILTCHEV, Théodore

    IPC分类号： F04C25/02 ,  F04C28/02 ,  F04C18/344

    摘要： Method of pumping and pumping system (SP, SPP) comprising: a lubricated-vanes main vacuum pump (3) with a gas inlet orifice (2) connected to a vacuum chamber (1) and a gas outlet orifice (4) opening into a pipe (5) before opening into the gas outlet (8) of the pumping system (SP, SPP), a non-return valve (6) positioned in the pipe (5) between the gas outlet orifice (4) and the gas outlet (8), and a lubricated-vanes auxiliary vacuum pump (7) connected in parallel with the non-return valve (6). The lubricated-vanes main vacuum pump (3) is set into operation in order to pump the gasses contained in the vacuum chamber (1) through the gas outlet orifice (4); simultaneously, a lubricated-vanes auxiliary vacuum pump (7) is set in operation and continues to be in operation for all of the time that the lubricated-vanes main vacuum pump (3) is pumping the gasses contained in the vacuum chamber (1) and/or for all of the time that the lubricated-vanes main vacuum pump (3) is maintaining a defined pressure in the vacuum chamber (1).

    摘要翻译： 1.一种泵送和泵送系统（SP，SPP）的方法，其包括：带有连接到真空室（1）的气体入口孔（2）和通向所述真空室（1）的气体出口孔（4）的润滑叶片主真空泵 （SP，SPP）的气体出口（8）之前，在所述气体出口孔（4）和所述气体出口孔（4）之间定位在所述管（5）中的止回阀（6） （8）以及与止回阀（6）并联连接的润滑叶片辅助真空泵（7）。 润滑叶片主真空泵（3）开始工作，以便将容纳在真空室（1）中的气体泵送通过气体出口孔（4）; 同时，润滑叶片辅助真空泵（7）运行并且在润滑叶片主真空泵（3）抽吸容纳在真空室（1）中的气体的所有时间内持续运行， 和/或在所有的时间内润滑叶片主真空泵（3）在真空室（1）中保持规定的压力。