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发明公开
VERFAHREN ZUM REINIGEN EINER KUNSTSTOFFOBERFLÄCHE 审中-公开

公开(公告)号：EP3487639A1

公开(公告)日：2019-05-29

申请号：EP17730392.2

申请日：2017-05-24

申请人： Brooks Automation (Germany) GmbH

发明人： REBSTOCK, Lutz , FRYDA, Matthias , MATTHÉE, Thorsten

IPC分类号： B08B3/08 , B08B3/10 , H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/67 , C02F1/461 , B08B9/08