公开(公告)号：EP0320354A1

公开(公告)日：1989-06-14

申请号：EP88403067.7

申请日：1988-12-05

申请人： CAMECA

发明人： Migeon, Henri ,  Rasser, Bernard

IPC分类号： H01J49/40 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252

CPC分类号： H01J37/252 ,  H01J49/40

摘要： L'invention concerne un procédé d'analyse en temps de vol, consis­tant à :
- balayer d'une manière continue la surface d'un échantillon solide (3), par un faisceau de particules primaires (1) pour arracher à l'échantillon (3) des particules secondaires (4), et les ioniser ;
- constituer un faisceau de particules secondaires (4) et lui faire parcourir un chemin suffisamment long pour que des particules secondaires ayant des énergies différentes et/ou des masses différentes aient des temps de vol sensiblement différents ;
- discriminer ensuite les particules secondaires (4) en les déviant selon un angle variable périodiquement en fonction du temps, avec la même période que celle du balayage par le faisceau de particules primaires (1) mais avec un déphasage fixé tel que les particules secondaires (4) ayant un temps de vol donné soient déviées dans une direction prédéterminée (oz), quel que soit le point de l'échantillon (3) où elles ont été arrachées ;
- sélectionner les particules secondaires (4) se déplaçant dans la direction prédéterminée (oz).
Application aux appareils d'analyse.

摘要翻译： 本发明涉及飞行分析处理的时间在由：... - 持续地与初级颗粒（1）的光束，以便从所述样品（4）剥离二次粒子扫描的固体样品（3）的表面（3） 和电离它们; ... - 构建二次粒子（4）的光束并使其穿过一个路径足够长的用于具有不同能量和/或不同质量的次级颗粒具有的飞行基本上不同的时间; ... - 然后识别二次粒子 （4）通过偏转它们角度，能周期性地变化作为时间的函数，用相同的周期由一次粒子的光束做了扫描（1），但检查固定相移做的二次粒子（4 ），其具有的飞行给定的时间在规定方向（盎司偏转），从样品的任意点（3）剥离theywere; ... - 选择二次粒子（4）在预定方向（盎司）移动。 ... 应用到分析仪器。 ... ...

公开(公告)号：EP0320354B1

公开(公告)日：1992-07-15

申请号：EP88403067.7

申请日：1988-12-05

申请人： CAMECA

发明人： Migeon, Henri ,  Rasser, Bernard

IPC分类号： H01J49/40 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252

CPC分类号： H01J37/252 ,  H01J49/40