公开(公告)号：EP1710560A1

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：EP05102743.1

申请日：2005-04-07

申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) ,  UNIVERSITE JOSEPH FOURIER

发明人： Cunge, Gilles ,  Mori, Masahito ,  Sadeghi, Nader ,  Kogelschatz, Martin

IPC分类号： G01N21/33 ,  H01J37/32

CPC分类号： G01N21/33 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32972

摘要： The invention concerns a method of testing a plasma reactor comprising:
a) introducing Cl 2 ,
b) creating a plasma,
c) after the plasma creation, measuring the Cl 2 concentration,
d) comparing the measured Cl 2 concentration with a reference Cl 2 concentration,
e) if said comparison indicates a deviation higher than a selected threshold, cleaning and possibly conditioning the reactor and repeating steps a) to d).

摘要翻译： 本发明涉及一种测试等离子体反应器的方法，包括：a）引入Cl 2，b）产生等离子体，c）等离子体产生后测量Cl 2浓度，d）将测量的Cl 2浓度与参考Cl 2 浓度，e）如果所述比较指示高于选定阈值的偏差，则清洁并可能调节反应器并重复步骤a）至d）。