公开(公告)号：EP0960074A4

公开(公告)日：2002-09-04

申请号：EP97945187

申请日：1997-08-27

Applicant: CORNING INC

Inventor： ALLAN DOUGLAS C ,  POWELL WILLIAM R ,  BORRELLI NICHOLAS FRANCIS ,  SEWARD THOMAS PHILIP III ,  SMITH CHARLENE MARIE

IPC: G02B1/00 ,  C03B8/02 ,  C03B8/04 ,  C03B19/06 ,  C03B19/10 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C1/00 ,  C03C3/06 ,  C03C23/00 ,  G02B1/02 ,  G03F7/20 ,  C03C3/076 ,  C03C4/00

CPC classification number: G03F7/70958 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2207/32 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C23/0025 ,  C03C2201/02 ,  C03C2203/50 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70216 ,  Y10S65/13

Abstract: The invention relates to fused silica having low compaction under high energy irradation, particularly adaptable for use in photolithography applications.