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发明授权
Beam device and system comprising a particle beam device and an optical microscope 有权
标题翻译：射线装置及系统与粒子辐射装置和光学显微镜

公开(公告)号：EP2565900B1

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：EP12191504.5

申请日：2007-11-13

申请人： Carl Zeiss Microscopy Limited

发明人： Spruck, Bernd , Edelmann, Martin , Craven, John , Taylor, Robert , Kühner, Martin

IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/26 , G02B21/00

CPC分类号： H01J37/20 , G02B21/0004 , H01J37/18 , H01J37/228 , H01J37/26 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006 , H01J2237/204 , H01J2237/2608