公开(公告)号：EP2506285A1

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：EP12161975.3

申请日：2012-03-29

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： Dönitz, Dietmar ,  Wagner, Christian

IPC分类号： H01J37/26

CPC分类号： H01J37/28

摘要： The invention relates to a particle beam device (1, 24) having a detector arrangement. The particle beam device (1, 24) has a first particle beam column (16), the first particle beam column (16) having a first beam generator for generating a first particle beam, and a first objective lens for focusing the first particle beam on an object (11). The first particle beam column (16) has a first beam axis (28). In addition, a second particle beam column (2) is provided, the second particle beam column (2) having a second beam generator for generating a second particle beam, and a second objective lens for focusing the second particle beam on an object (11). The second particle beam column (2) has a second beam axis (29). A detector (12) is provided for detecting interacting particles and/or interacting radiation. A detection axis (33) extends from the detector (12) to an object (11). The first beam axis (28) of the first particle beam column (16) and the second beam axis (29) of the second particle beam column (2) define a first angle (Φ) which is different from 0° and from 180°. In addition, the first beam axis (28) of the first particle beam column (16) and the second beam axis (29) of the second particle beam column (2) are situated in a first plane (32). The detection axis (33) of the detector (12) and the first beam axis (28) are situated in a second plane (34). Furthermore, the first plane (32) and the second plane (34) define a second angle (α) having an absolute value in the range of 65° to 80°.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有检测器装置的粒子束装置（1,24）。 所述粒子束装置（1,24）具有第一粒子束（16），所述第一粒子束列（16）具有用于产生第一粒子束的第一束发生器和用于聚焦所述第一粒子束 在物体（11）上。 第一粒子束柱（16）具有第一束轴（28）。 另外，提供第二粒子束柱（2），第二粒子束列（2）具有用于产生第二粒子束的第二束发生器和用于将第二粒子束聚焦在物体（11）上的第二物镜 ）。 第二粒子束柱（2）具有第二束轴（29）。 提供检测器（12）用于检测相互作用的颗粒和/或相互作用的辐射。 检测轴（33）从检测器（12）延伸到物体（11）。 第一粒子束列（16）的第一束轴（28）和第二粒子束列（2）的第二束轴（29）限定第一角度（|），其不同于0°和180° 。 此外，第一粒子束列（16）的第一束轴（28）和第二粒子束列（2）的第二束轴（29）位于第一平面（32）中。 检测器（12）和第一光束轴（28）的检测轴（33）位于第二平面（34）中。 此外，第一平面（32）和第二平面（34）限定绝对值在65°至80°范围内的第二角度（±）。

公开(公告)号：EP2400524A3

公开(公告)日：2017-06-28

申请号：EP11005111.7

申请日：2011-06-22

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： Biberger, Josef ,  Pulwey, Ralph ,  Paluszynski, Jaroslaw ,  Dönitz, Dietmar ,  Mathée, Hans ,  Steigerwald, Michael

IPC分类号： H01J37/30 ,  H01J37/305 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  G01B15/08

CPC分类号： H01J37/3056 ,  G01B15/04 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30494 ,  H01J2237/31722 ,  H01J2237/31749

摘要： A method of processing of an object comprises scanning a particle beam across a surface of the object and detecting electrons emerging from the object due to the scanning (103,105); determining a height difference between the surface of the object and a predetermined surface for each of plural of locations on the surface of the object based on the detected electrons (107); determining a processing intensity for each of the plural locations on the surface of the object based on the determined height differences; and directing a particle beam to the plural locations based on the determined processing intensities, in order to remove material from or deposit material on the object at the plural locations (113).

摘要翻译： 一种处理物体的方法包括扫描物体表面上的粒子束并检测由于扫描而从物体出现的电子（103,105）; 基于检测到的电子，确定物体表面上的多个位置中的每一个位置处的物体的表面与预定表面之间的高度差（107）; 基于所确定的高度差确定对象的表面上的多个位置中的每一个的处理强度; 以及基于所确定的处理强度将粒子束引导至所述多个位置，以便从所述多个位置（113）处的物体上去除材料或将材料沉积在所述物体上。

公开(公告)号：EP2400524A2

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：EP11005111.7

申请日：2011-06-22

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： Biberger, Josef ,  Pulwey, Ralph ,  Paluszynski, Jaroslaw ,  Dönitz, Dietmar ,  Mathée, Hans ,  Steigerwald, Michael

IPC分类号： H01J37/305 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304

CPC分类号： H01J37/3056 ,  G01B15/04 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30494 ,  H01J2237/31722 ,  H01J2237/31749

摘要： A method of processing of an object comprises scanning a particle beam across a surface of the object and detecting electrons emerging from the object due to the scanning (103,105); determining a height difference between the surface of the object and a predetermined surface for each of plural of locations on the surface of the object based on the detected electrons (107); determining a processing intensity for each of the plural locations on the surface of the object based on the determined height differences; and directing a particle beam to the plural locations based on the determined processing intensities, in order to remove material from or deposit material on the object at the plural locations (113).

摘要翻译： 一种处理物体的方法包括扫描物体表面上的粒子束并检测由于扫描而从物体出射的电子（103,105）; 基于检测到的电子，确定物体表面和物体表面上的多个位置中的每一个的预定表面之间的高度差; 基于所确定的高度差来确定所述对象表面上的所述多个位置中的每一个的处理强度; 并且基于所确定的处理强度将粒子束引导到多个位置，以便在多个位置（113）处去除材料或在物体上沉积材料。