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发明授权
Beleuchtungseinrichtung 失效

公开(公告)号：EP0687956B2

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：EP95107364.2

申请日：1995-05-16

申请人： Carl Zeiss SMT AG

发明人： Wangler, Johannes , Richter, Gerald

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70066 , G02B5/001 , G02B6/4206 , G02B6/4298 , G02B13/143 , G02B15/04 , G03F7/2002 , G03F7/70075 , G03F7/70108 , G03F7/70183