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1.

发明公开
EUV-KOLLEKTOR 审中-公开

公开(公告)号：EP3465348A1

公开(公告)日：2019-04-10

申请号：EP17725602.1

申请日：2017-05-24

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： SCHUSTER, Ingrid , MERKEL, Wolfgang , METALIDIS, Georgo , KIEREY, Holger

IPC分类号： G03F7/20 , G21K1/06 , G02B5/08

2.

发明公开
OPTICAL ELEMENT, IN PARTICULAR FOR A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 审中-公开

公开(公告)号：EP3559749A1

公开(公告)日：2019-10-30

申请号：EP17807769.9

申请日：2017-11-17

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： MOSER, Ralf , HEROLD, Florian , SCHMITTNER, Arno , KIEREY, Holger , MERKEL, Wolfgang , METALIDIS, Georgo

IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/08 , G21K1/06