公开(公告)号：EP3921702A1

公开(公告)日：2021-12-15

申请号：EP20704480.1

申请日：2020-02-05

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： ANSELM, Eugen ,  FENKL, Karl ,  MÜLLER, Christoph ,  MOSER, Ralf

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/02 ,  G02B7/182

公开(公告)号：EP3559749A1

公开(公告)日：2019-10-30

申请号：EP17807769.9

申请日：2017-11-17

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： MOSER, Ralf ,  HEROLD, Florian ,  SCHMITTNER, Arno ,  KIEREY, Holger ,  MERKEL, Wolfgang ,  METALIDIS, Georgo

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B5/08 ,  G21K1/06