公开(公告)号：EP2577325A1

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：EP11729731.7

申请日：2011-06-01

申请人： Centre National de la Recherche Scientifique ,  Université de la Méditerranée - Aix-Marseille II

发明人： TONNEAU, Didier ,  PURANS, Juris ,  FAUQUET, Carole ,  JANDARD, Franck ,  ERKO, Alexei ,  BJEOUMIKHOV, Aniouar

IPC分类号： G01Q30/02 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/20 ,  G01Q60/22 ,  G01N23/223 ,  G21K7/00 ,  B82Y35/00

CPC分类号： G01Q60/06 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/20 ,  G01Q60/22

摘要： The invention relates to a device for characterising surfaces, characterised in that said device includes: a so-called imaging capillary (C
1 ) for guiding near- or medium-infrared, visible, ultraviolet or X-ray electromagnetic radiation from or towards a surface (SE) to be characterised, said capillary having one so-called front end (EA
C1 ), pointing towards said surface and having an opening having a micrometric or sub-micrometric diameter; and a micromechanical oscillator (DP) for inducing an oscillatory motion of said capillary relative to said surface. The invention further relates to the use of such a device for simultaneously acquiring topographic information and spatially resolved spectroscopic information on a surface to be characterised.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于表征表面的装置，其特征在于，所述装置包括：用于从或从表面引导近或中红外，可见，紫外线或X射线电磁辐射的所谓成像毛细管（C1） SE），所述毛细管具有指向所述表面并具有具有微米或亚微米直径的开口的所谓前端（EAC1）; 以及用于诱导所述毛细管相对于所述表面的振荡运动的微机械振荡器（DP）。 本发明还涉及使用这种装置来同时获取要表征的表面上的地形信息和空间分辨的光谱信息。