公开(公告)号：EP3519605A1

公开(公告)日：2019-08-07

申请号：EP17793687.9

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C16/10 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  C23C28/00 ,  G21C3/07 ,  C23C16/04 ,  C23C16/18

公开(公告)号：EP3390686A1

公开(公告)日：2018-10-24

申请号：EP16831495.3

申请日：2016-12-17

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives ,  Institut National Polytechnique de Toulouse

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  PONS, Michel ,  BOICHOT, Raphaël ,  LOMELLO, Fernando

IPC分类号： C23C16/448 ,  C23C16/44 ,  C23C16/32 ,  C23C16/18 ,  B01D5/00

摘要： The invention relates to a method for chemical vapour deposition, onto a substrate, of a protective coating made up of at least one protective layer comprising a transition metal M: a) providing, in a supply vessel, a stock solution containing a hydrocarbon solvent free of oxygen atoms and a bis(arene) precursor containing the transition metal M to be deposited; b) vaporising said stock solution and injecting same into a CVD reaction chamber in order to deposit the protective layer onto said substrate and, if need be, a carbon incorporation inhibitor; c) collecting, at the outlet of the reaction chamber, a fraction of the gaseous effluent comprising the non-consumed precursor, the aromatic sub-products of the precursor and the solvent, these species together forming a working solution; and d) pouring the working solution thus obtained into the supply vessel in order to obtain a new stock solution capable of being used in step a).

公开(公告)号：EP3520119A1

公开(公告)日：2019-08-07

申请号：EP17793689.5

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： G21C21/02 ,  G21C3/20 ,  C23C28/04 ,  C23C16/04 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  C23C14/16 ,  C23C16/16 ,  G21C3/07 ,  G21C21/04 ,  C23C16/02 ,  C23C16/18 ,  B32B5/28 ,  B32B15/04 ,  B32B18/00 ,  B32B33/00 ,  C23C16/30 ,  G21C3/344

公开(公告)号：EP3520118A1

公开(公告)日：2019-08-07

申请号：EP17793688.7

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： G21C21/02 ,  G21C3/20 ,  C23C28/04 ,  C23C16/04 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  C23C14/16 ,  G21C3/07 ,  C23C16/02 ,  C23C16/18 ,  B32B15/04 ,  B32B33/00 ,  C23C16/30 ,  G21C3/344

公开(公告)号：EP3520118B1

公开(公告)日：2020-08-05

申请号：EP17793688.7

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： G21C21/02 ,  G21C3/20 ,  C23C28/04 ,  C23C16/04 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  C23C14/16 ,  G21C3/07 ,  C23C16/02 ,  C23C16/18 ,  B32B15/04 ,  B32B33/00 ,  C23C16/30 ,  G21C3/344

公开(公告)号：EP3519605B1

公开(公告)日：2020-08-05

申请号：EP17793687.9

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C16/04 ,  C23C16/10 ,  C23C16/18 ,  C23C16/32 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  G21C3/07 ,  G21C3/20 ,  G21C3/34 ,  G21C7/10 ,  G21C21/02 ,  G21C3/36

公开(公告)号：EP3519604A1

公开(公告)日：2019-08-07

申请号：EP17793686.1

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C16/04 ,  C23C16/10 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C28/00 ,  G21C3/07 ,  C23C16/18 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56

公开(公告)号：EP3520119B1

公开(公告)日：2020-07-29

申请号：EP17793689.5

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： B32B9/04 ,  C04B41/00 ,  G21C21/02 ,  G21C3/20 ,  C23C28/04 ,  C23C16/04 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  C23C14/16 ,  C23C16/16 ,  G21C3/07 ,  G21C21/04 ,  C23C16/02 ,  C23C16/18 ,  B32B5/28 ,  C23C16/30

公开(公告)号：EP3519604B1

公开(公告)日：2020-07-29

申请号：EP17793686.1

申请日：2017-09-28

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  LOMELLO, Fernando ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  BOICHOT, Raphaël ,  PONS, Michel

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C16/04 ,  C23C16/10 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C28/00 ,  G21C3/07 ,  C23C16/18 ,  C23C16/448 ,  C23C16/56

公开(公告)号：EP3390686B1

公开(公告)日：2019-11-20

申请号：EP16831495.3

申请日：2016-12-17

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives ,  Institut National Polytechnique de Toulouse

发明人： SCHUSTER, Frédéric ,  MAURY, Francis ,  MICHAU, Alexandre ,  PONS, Michel ,  BOICHOT, Raphaël ,  LOMELLO, Fernando

IPC分类号： B01D8/00 ,  C23C16/448 ,  C23C16/32 ,  C23C16/18 ,  B01D5/00 ,  C23C16/44