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1.发明公开DISPOSITIF DE DETECTION A RESONATEUR ACOUSTIQUE DIFFERENTIEL DE TYPE HELMHOLTZ 审中-公开检测装置与差分应用BY TYPE亥姆霍兹共振腔声谐振器
公开(公告)号：EP2930506A1
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：EP15162230.5
申请日：2015-04-01
发明人： Gliere, Alain , Boutami, Salim , Brun, Mickaël , Labeye, Pierre , Nicoletti, Sergio , Rouxel, Justin
IPC分类号： G01N29/036 , G01N29/22 , G01N29/24 , G01N21/03 , G01N21/17
CPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/03 , G01N21/0303 , G01N21/1702 , G01N29/036 , G01N29/222 , G01N29/2425 , G01N2021/1704 , G01N2021/1708 , G01N2201/06113 , G01N2201/0612 , G01N2201/08 , G01N2291/021 , H01S5/026
摘要： Dispositif microélectronique de détection photoacoustique (100) comprenant :
- un substrat comportant des cavités formant un résonateur acoustique différentiel de Helmholtz ;
- des détecteurs acoustiques couplés aux chambres (106, 108) du résonateur ;
- une source lumineuse (102) ;
- un guide d'onde (104) comportant une première extrémité (105) couplée à la source lumineuse et une deuxième extrémité (107) couplée à une première chambre ;
dans lequel la deuxième extrémité comporte, à l'interface avec la première chambre, une largeur supérieure à celle de la première extrémité et celle de la longueur d'onde donnée, et/ou dans lequel le dispositif comporte un réseau de diffraction (118) disposé dans la deuxième extrémité et apte à diffracter une première partie du faisceau vers une couche réflectrice inférieure disposée sous la deuxième extrémité et une deuxième partie du faisceau vers une couche réflectrice supérieure formant une paroi supérieure de la première chambre.-
公开(公告)号：EP2930506B1
公开(公告)日：2019-05-08
申请号：EP15162230.5
申请日：2015-04-01
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