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公开(公告)号：EP2315019A1
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：EP10188403.9
申请日：2010-10-21
发明人： Nicoletti, Sergio , Andreucci, Philippe , Brun, Mickaël , Gidon, Serge , Marcadet, Xavier , Carras, Mathieu
摘要： L'invention concerne un dispositif de détection photoacoustique comprenant un circuit nanophotonique incluant une pluralité de lasers (7) à semiconducteur susceptibles d'émettre à des fréquences distinctes ; des coupleurs d'entrée (9) reliés à des guides d'onde optiques ; un multiplexeur (13) ; un guide d'onde optique de sortie (15) débouchant dans un évidement ; un diapason (18) dont les bras libres sont disposés au niveau de la sortie du guide d'onde optique de sortie ; des moyens de détection de la vibration du diapason, tous ces éléments étant assemblés en un composant monolithique.
摘要翻译： 光声检测装置包括包括量子级联半导体激光器（7）的纳米光子电路，与光波导相连接的馈电耦合器，多路复用器，其中一端设置有在腔中打开的聚焦单元的输出光波导， 该自由臂布置在聚焦单元的出口处，以及用于检测音叉的振动的电子单元。 包括激光组件的结构形成在组装在纳米光子电路的中空延伸支撑件上的芯片中。 光声检测装置包括包括量子级联半导体激光器（7）的纳米光子电路，与光波导相连接的馈电耦合器，多路复用器，其中一端设置有在腔中打开的聚焦单元的输出光波导， 该自由臂布置在聚焦单元的出口处，以及用于检测音叉的振动的电子单元。 包括激光组件的结构形成在组装在纳米光子电路的中空延伸支撑件上的芯片中，或直接组装在纳米光子电路支架上的多层中。 光波导芯和音叉臂的芯由单一材料层形成。 材料层在波导级放置在半导体结构的绝缘体上，并且涂覆有与绝缘体上的半导体结构的上层相同性质的覆层，并且叉的臂悬挂在 一个休息 绝缘体上的半导体结构的半导体层的上表面涂覆有硅层或氮化硅层。 包覆层由氮化硅层构成。 检测单元测量由音叉材料产生的压电效应产生的电压，并且包括耦合到叉的臂的电极。
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2.发明公开
公开(公告)号：EP2299491A2
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：EP10176393.6
申请日：2010-09-13
IPC分类号： H01L27/146
CPC分类号： H01L27/14625 , H01L27/14605 , H01L27/14629 , H01L27/14632 , H01L27/14685 , H01L27/14687
摘要： L'invention concerne un dispositif d'imagerie 3D comprenant une matrice (M) de photodétecteurs (2), une couche de matériau (1) fixée sur une face de la matrice de photodétecteurs, la couche de matériau (1) étant apte à réfléchir ou absorber la lumière, une ouverture (3) étant pratiquée dans ladite couche de matériau au niveau de chaque photodétecteur (2), une couche de matériau isolant (6) fixée sur ladite couche de matériau (1) apte à réfléchir ou absorber la lumière, la couche de matériau isolant (6) ayant une face enrobant, dans sa masse, un ensemble de guides d'onde (5), chaque guide d'onde (5) de l'ensemble de guides d'onde étant positionné verticalement par rapport à ladite face, en regard d'une ouverture (3), les hauteurs des différents guides d'onde, prises par rapport à la face de la couche de matériau isolant, définissant N niveaux distincts, N étant un nombre entier supérieur ou égal à 2.
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公开(公告)号：EP2930506B1
公开(公告)日：2019-05-08
申请号：EP15162230.5
申请日：2015-04-01
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4.发明授权Moule pour la lithographie par nano-impression thermique, son procédé de preparation, et procédé de nano-impression thermique le mettant en oeuvre 有权形状，用于热纳米压印法，它们的制备和初期的热纳米压印光刻过程的方法
公开(公告)号：EP2426556B1
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：EP11179917.7
申请日：2011-09-02
发明人： Landis, Stefan , Nicoletti, Sergio
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
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公开(公告)号：EP2299491A3
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：EP10176393.6
申请日：2010-09-13
IPC分类号： H01L27/146
CPC分类号： H01L27/14625 , H01L27/14605 , H01L27/14629 , H01L27/14632 , H01L27/14685 , H01L27/14687
摘要： L'invention concerne un dispositif d'imagerie 3D comprenant une matrice (M) de photodétecteurs (2), une couche de matériau (1) fixée sur une face de la matrice de photodétecteurs, la couche de matériau (1) étant apte à réfléchir ou absorber la lumière, une ouverture (3) étant pratiquée dans ladite couche de matériau au niveau de chaque photodétecteur (2), une couche de matériau isolant (6) fixée sur ladite couche de matériau (1) apte à réfléchir ou absorber la lumière, la couche de matériau isolant (6) ayant une face enrobant, dans sa masse, un ensemble de guides d'onde (5), chaque guide d'onde (5) de l'ensemble de guides d'onde étant positionné verticalement par rapport à ladite face, en regard d'une ouverture (3), les hauteurs des différents guides d'onde, prises par rapport à la face de la couche de matériau isolant, définissant N niveaux distincts, N étant un nombre entier supérieur ou égal à 2.
摘要翻译： 本发明涉及一种三维成像装置，包括光电检测器的一个基体（M）（2），（1）固定在光电探测器矩阵的一个面材料层，所述材料层（1）被适配为反映 或吸收光，（3）形成在材料的所述层（2）处，绝缘材料层（6）固定到材料的所述层中的每个光检测器中的开口（1），其能够反射或吸收光的 所述绝缘材料层（6）在其质量上具有一组波导（5），所述一组波导中的每个波导（5）垂直地定位 相对于孔径（3），相对于绝缘材料层的面取得的不同波导的高度定义N个不同的电平，N是大于或等于 到2。
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公开(公告)号：EP2315019B1
公开(公告)日：2019-11-06
申请号：EP10188403.9
申请日：2010-10-21
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7.发明公开Dispositif de conversion non-lineaire de signal par melange a quatre ondes 有权Vorrichtung zur nicht-linearen Signalumwandlung durch Vermischen von vier Wellen
公开(公告)号：EP2818921A1
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：EP13305876.8
申请日：2013-06-25
发明人： Brun, Mickaël , Labeye, Pierre , Nicoletti, Sergio , Bogris, Adonis , Kapsalis, Alexandros , Syvridis, Dimitris
CPC分类号： G02F1/3536 , G01N21/3504 , G01N21/7703 , G02B6/102 , G02B2006/12176 , G02F2202/105
摘要： Dispositif (100) de conversion non-linéaire d'un premier signal infrarouge en un deuxième signal infrarouge de longueur d'onde inférieure à celle du premier signal infrarouge par mélange à quatre ondes, comportant au moins une portion de SiGe (108) disposée sur au moins une première couche (102) de matériau d'indice de réfraction inférieur à celui du silicium, une concentration en germanium dans la portion de SiGe variant de manière continue entre une première valeur et une deuxième valeur supérieure à la première valeur selon une direction sensiblement perpendiculaire à une face (103) de la première couche sur laquelle la portion de SiGe est disposée, et dans lequel une partie sommitale (112) de la portion de SiGe au niveau de laquelle la concentration en germanium est égale à la deuxième valeur est en contact avec un gaz et/ou un matériau (202) d'indice de réfraction inférieur à celui du silicium.
摘要翻译： 一种用于通过四波混频将第一红外信号非线性地转换成具有小于第一红外信号的波长的第二红外信号的装置，其包括布置在至少一个第一红外信号上的至少一部分SiGe 具有小于硅的折射率的第一材料层，SiGe部分中的锗浓度在第一值和大于第一值的第二值之间连续变化，大致垂直于 到其上配置有SiGe的部分的第一层的面，并且其中锗浓度等于第二值的SiGe部分的顶点部分与气体和/或具有 折射率小于硅的折射率。
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8.发明公开Moule pour la lithographie par nano-impression thermique, son procédé de preparation, et procédé de nano-impression thermique le mettant en oeuvre 有权形状，用于热纳米压印法，它们的制备和初期的热纳米压印光刻过程的方法
公开(公告)号：EP2426556A1
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：EP11179917.7
申请日：2011-09-02
发明人： Landis, Stefan , Nicoletti, Sergio
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： Moule chauffant pour la lithographie par nano-impression thermique comprenant des moyens de chauffage résistifs et des moyens de captage pour capter l'énergie électromagnétique d'un champ électromagnétique variable émis par une source située à l'extérieur du moule, lesdits moyens de captage étant reliés auxdits moyens de chauffage résistifs (34) dans lesquels ladite énergie est dissipée.
Procédés de fabrication de ce moule.
Dispositif de lithographie par nano-impression thermique comprenant ledit moule.
Procédé de préparation d'un substrat comprenant une surface nanostructurée par une technique de lithographie par nano-impression thermique, dans lequel on met en oeuvre ledit moule.摘要翻译： 该模具具有一个基板（21）包括主表面（22）由下部和上部膜（29，30）部分地覆盖。 电阻加热单元（34）在上膜的上表面上设置。 在加热单元上方的层的表面的区域的电和热绝缘层（36）被设置在待印刷图案（37）。 由射频接收机形成的拾取单元捕获从由位于模具外侧的源发射可变电磁场的电磁能量。 拾取单元链接到其中能量被耗散的加热单元。 因此独立权利要求中包括了以下内容：（1）热纳米压印平版印刷设备，包括：模具（2）的方法，用于制造模具。
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9.发明授权
公开(公告)号：EP2299324B1
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：EP10176641.8
申请日：2010-09-14
发明人： Landis, Stefan , Nicoletti, Sergio
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
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10.发明授权
公开(公告)号：EP2818921B1
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：EP13305876.8
申请日：2013-06-25
发明人： Brun, Mickaël , Labeye, Pierre , Nicoletti, Sergio , Bogris, Adonis , Kapsalis, Alexandros , Syvridis, Dimitris
CPC分类号： G02F1/3536 , G01N21/3504 , G01N21/7703 , G02B6/102 , G02B2006/12176 , G02F2202/105
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