公开(公告)号：EP4006958A1

公开(公告)日：2022-06-01

申请号：EP21209321.5

申请日：2021-11-19

申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives ,  Weebit Nano Ltd

发明人： NODIN, Jean-François ,  MOLAS, Gabriel ,  COHEN, Yifat ,  REGEV, Amir

IPC分类号： H01L21/56 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/311 ,  H01L21/321 ,  H01L23/31 ,  H01L21/768

摘要： Procédé de reprise de contact électrique, comportant les étapes :
a) prévoir des puces (P) électroniques, surmontées de plots (1) de contact électrique, et formées sur un substrat (2) ; les plots (1) et le substrat (2) étant revêtus d'une couche de passivation (3) ;
b) former un empilement sur la couche de passivation (3), comportant :
- une première couche d'aplanissement (4), réalisée dans un premier matériau autorisant une gravure chimique sélective par rapport à la couche de passivation (3), et formée sur la couche de passivation (3) de manière à affleurer le sommet des plots (1) ;
- une deuxième couche d'aplanissement (5), réalisée dans un deuxième matériau ;
- une couche intercalaire (CI), réalisée dans un matériau autorisant une gravure chimique sélective du deuxième matériau ;

c) polir l'empilement, par un polissage mécano-chimique, jusqu'à atteindre la couche de passivation (3) revêtant les plots (1) ;
d) graver la couche de passivation (3) revêtant les plots (1) de manière à mettre à nu le sommet des plots (1).

公开(公告)号：EP4062463A1

公开(公告)日：2022-09-28

申请号：EP20807388.2

申请日：2020-11-17

申请人： Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives ,  Weebit Nano Ltd

发明人： MOLAS, Gabriel ,  MAGIS, Thomas ,  NODIN, Jean-François ,  BRICALLI, Alessandro ,  PICCOLBONI, Guiseppe ,  COHEN, Yifat ,  REGEV, Amir

IPC分类号： H01L45/00