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    Plasma diffuser
    1.
    发明公开
    Plasma diffuser 审中-公开
    Plasmadiffusor

    公开(公告)号：EP2937890A1

    公开(公告)日：2015-10-28

    申请号：EP14165491.3

    申请日：2014-04-22

    申请人： Europlasma nv

    发明人： Rogge, M. Eva ,  Legein, Filip ,  Feys, Guy

    IPC分类号： H01J37/32 ,  D06M10/02

    摘要： The present invention concerns a method for at least partially preventing discolouration of a substrate by a plasma coating process, by diffusing a plasma prior to and/or during depositing of said plasma on said substrate to form a coating. The present invention also concerns a plasma coating apparatus comprising a plasma diffuser for homogenizing a plasma density nearby a substrate to be coated.

    摘要翻译： 本发明涉及一种通过在所述衬底上沉积所述等离子体之前和/或期间扩散等离子体以形成涂层来至少部分地防止由等离子体涂覆工艺变色的衬底的方法。 本发明还涉及一种等离子体涂覆装置，其包括用于使待涂覆的基底附近的等离子体密度均匀化的等离子体扩散器。