公开(公告)号：EP2831309B1

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：EP13710838.7

申请日：2013-03-15

申请人： Evonik Degussa GmbH

发明人： HOCH,Sachsa ,  BLUG, Matthias ,  BUSSE Jens ,  CALVET, Wolfram ,  KAISER, Bernhard ,  JAEGERMANN, Wolfram ,  HAHN, Hanna ,  ZANTHOFF, Horst-Werner

IPC分类号： C25B1/04 ,  C25B9/10 ,  C25B11/03 ,  C25B11/04 ,  H01L31/0725 ,  C25B1/00 ,  C25B1/10 ,  C25B9/08 ,  H01L31/076

CPC分类号： C25B1/003 ,  C25B1/04 ,  C25B1/10 ,  C25B9/08 ,  C25B9/10 ,  C25B11/035 ,  C25B11/04 ,  H01L31/076 ,  Y02E60/368 ,  Y02P20/135