摘要:
Procédé et dispositif d'insertion de puces dans des logements ménagés dans un substrat notamment du type hybride, caractérisé par le fait qu'il consistant à engager dans un logement (2) du substrat (3), une tête d'encollage (7) dimensionnée de telle sorte qu'il subsiste entre elle et la paroi du logement un espace, à déposer grâce à cette tête d'encollage de la matière de scellement (6a) contre la paroi du logement précité, à retirer la tête d'encollage (7), et à placer dans le logement (3) une puce (1) de telle sorte que la matière de scellement déposée contre la paroi du logement remplisse au moins en partie l'espace entre cette paroi et la paroi périphérique de la puce et que, après durcissement de la matière de scellement, la puce soit fixée au substrat dans le logement.
摘要:
Procédé et dispositif optiques de mesure de distance, consistant à émettre un faisceau lumineux incident (13) comprenant au moins deux ondes de longueurs d'ondes différentes (λ1 et λ2) ; à séparer ce faisceau en un faisceau de référence (15) et un faisceau de mesure (17) qui se réfléchissent sur respectivement un réflecteur de référence (16) et une zone (18) d'une pièce (19) dont on veut mesurer la position dans la direction du faisceau de mesure et se recombinent en un faisceau résultant (20) dans lequel lesdites ondes présentent des états de polarisation dont les composantes tournent lorsque le chemin optique du faisceau précité de mesure varie et qui déterminent dans la direction du faisceau de mesure des plages adjacentes aux extrémités de chacune desquelles les positions angulaires de deux composantes correspondantes de ces états de polarisation sont identiques ; à déterminer dans le faisceau résultant (20) les positions angulaires (α1 et α2) de deux composantes correspondantes desdits états de polarisation desdites ondes ; et à calculer en fonction desdites positions angulaires, la distance séparant la zone précitée de ladite pièce par rapport à une position de référence, de préférence l'image du réflecteur de référence. Leur application au positionnement de pièces, notamment d'une puce insérée dans un substrat.
摘要:
Appareil d'analyse d'échantillons (E) par ellipsométrie, et procédé d'analyse. Le faisceau lumineux (F) passe par un polariseur (4), une lame biréfringente (5) tournante (ω) et un analyseur (6). La mesure utilise les harmoniques deux et quatre de la vitesse de rotation de la lame (5). Application en particulier à la croissance et la gravure des couches minces.
摘要:
Procédé optique de détermination de l'écart latéral de deux pièces (1, 2) présentant des bords adjacents (3, 4) formant une fente (5), consistant à émettre au travers d'au moins une zone de ladite fente, par un côté de cette dernière, un faisceau de lumière parallèle (8); à capter le faisceau (8a) traversant cette zone de ladite fente par l'autre côté de cette dernière; et à comparer l'intensité lumineuse de ce faisceau traversant ladite zone à une valeur déterminée de manière à obtenir ou fournir l'écart entre les bords desdites pièces dans ladite zone. Ce procédé peut être appliqué au positionnement d'une première pièce telle qu'une puce en face ou dans une ouverture ménagée d'une seconde pièce telle qu'un substrat, et consister à déplacer ladite première pièce pour l'amener au-dessus de l'ouverture de la deuxième pièce, à comparer au fur et à mesure du déplacement de la première pièce l'intensité lumineuse traversant la fente séparant lesdites pièces, et à stopper le mouvement de la première pièce lorsque l'intensité du faisceau lumineux traversant est égale à une valeur déterminée.
摘要:
Procédé d'insertion de puces dans des logements ménagés dans un substrat notamment du type hybride, consistant, avant de fixer les puces (1 a ) dans les logements précités (2 a ), à maintenir les puces (1 a ) respectivement dans les logements précités (2 a ) par l'intermédiaire d'un film (6) qui est collé sur l'une des faces du substrat (3) et sur lequel sont collées les puces.