Procédé et dispositif d'insertion de puces dans des logements d'un substrat par tête d'encollage
    1.
    发明公开
    Procédé et dispositif d'insertion de puces dans des logements d'un substrat par tête d'encollage 失效
    对于芯片进入衬底接收空间由Einklebekopfes的装置的插入方法和装置。

    公开(公告)号:EP0498703A1

    公开(公告)日:1992-08-12

    申请号:EP92400260.3

    申请日:1992-01-31

    申请人: FRANCE TELECOM

    IPC分类号: H01L21/58 H01L21/68 H01L21/98

    摘要: Procédé et dispositif d'insertion de puces dans des logements ménagés dans un substrat notamment du type hybride, caractérisé par le fait qu'il consistant à engager dans un logement (2) du substrat (3), une tête d'encollage (7) dimensionnée de telle sorte qu'il subsiste entre elle et la paroi du logement un espace, à déposer grâce à cette tête d'encollage de la matière de scellement (6a) contre la paroi du logement précité, à retirer la tête d'encollage (7), et à placer dans le logement (3) une puce (1) de telle sorte que la matière de scellement déposée contre la paroi du logement remplisse au moins en partie l'espace entre cette paroi et la paroi périphérique de la puce et que, après durcissement de la matière de scellement, la puce soit fixée au substrat dans le logement.

    摘要翻译: 用于放置芯片的成在混合型的特定一个基板制成的容器,它DASS的方法和装置在besteht嵌合到插座(2)的基板(3),胶合头(7)的尺寸在寻求一种方式 做了空间保持它与所述容器的壁之间,在由该胶合头部来沉积对上述容器壁的密封材料(6a)中,在回抽胶合头(7),和(在将芯片放置 1)在在寻求一种方式的接收器(3)没有沉积靠在容器至少部分地填充在该壁和该芯片的周壁之间的空间的壁中的密封材料,并且,硬化所述的密封材料后,在 芯片被固定到容器中的基片。

    Procédé et dispositif optiques de mesure de distance et leur application au positionnement relatif de pièces
    3.
    发明公开
    Procédé et dispositif optiques de mesure de distance et leur application au positionnement relatif de pièces 失效
    装置和用于光学测距和使用用于工件的相对定位方法。

    公开(公告)号:EP0549456A1

    公开(公告)日:1993-06-30

    申请号:EP92403513.2

    申请日:1992-12-22

    申请人: FRANCE TELECOM

    IPC分类号: G01B9/02

    摘要: Procédé et dispositif optiques de mesure de distance, consistant à émettre un faisceau lumineux incident (13) comprenant au moins deux ondes de longueurs d'ondes différentes (λ1 et λ2) ; à séparer ce faisceau en un faisceau de référence (15) et un faisceau de mesure (17) qui se réfléchissent sur respectivement un réflecteur de référence (16) et une zone (18) d'une pièce (19) dont on veut mesurer la position dans la direction du faisceau de mesure et se recombinent en un faisceau résultant (20) dans lequel lesdites ondes présentent des états de polarisation dont les composantes tournent lorsque le chemin optique du faisceau précité de mesure varie et qui déterminent dans la direction du faisceau de mesure des plages adjacentes aux extrémités de chacune desquelles les positions angulaires de deux composantes correspondantes de ces états de polarisation sont identiques ; à déterminer dans le faisceau résultant (20) les positions angulaires (α1 et α2) de deux composantes correspondantes desdits états de polarisation desdites ondes ; et à calculer en fonction desdites positions angulaires, la distance séparant la zone précitée de ladite pièce par rapport à une position de référence, de préférence l'image du réflecteur de référence.
    Leur application au positionnement de pièces, notamment d'une puce insérée dans un substrat.

    摘要翻译: 方法和装置,用于光学距离测量,在发射到入射光束(13)包括不同的波长(波长1和λ2)中的至少两个波由...组成; 在此光束分成参考光束(15)和测量光束(17),它们在一个参考反射器(16)和工件的区(18)(19),其在测量方向上的位置分别反射 光束期望来衡量,并重新结合成的结果束(20),其中所述波具有偏振,其组件旋转的状态。当在上述测量光束而变化在所述测量光束的区域的方向上的光路,并且该确定的矿 ,邻近其各自的两个分量对应于偏振状态的角度位置是相同的端部; 在所得到的光束(20)两个分量对应于所述的波的极化的所述状态的角位置(α1和α - 2)开采确定性; 而在计算作为所述角位置的函数,远处分离所述工件的从基准位置的上述区域中,基准反射器的优选的图像。 ... 他们对定位工件应用,特别是芯片插入到基材。 ... ...

    Procédé optique de détermination de positions relatives de deux pièces et dispositif pour sa mise en oeuvre
    6.
    发明公开
    Procédé optique de détermination de positions relatives de deux pièces et dispositif pour sa mise en oeuvre 失效
    用于确定两个部件为此的相对位置和设备中的光学方法。

    公开(公告)号:EP0558398A1

    公开(公告)日:1993-09-01

    申请号:EP93400458.1

    申请日:1993-02-23

    申请人: FRANCE TELECOM

    IPC分类号: G01B11/14

    CPC分类号: G01B11/14

    摘要: Procédé optique de détermination de l'écart latéral de deux pièces (1, 2) présentant des bords adjacents (3, 4) formant une fente (5), consistant à émettre au travers d'au moins une zone de ladite fente, par un côté de cette dernière, un faisceau de lumière parallèle (8); à capter le faisceau (8a) traversant cette zone de ladite fente par l'autre côté de cette dernière; et à comparer l'intensité lumineuse de ce faisceau traversant ladite zone à une valeur déterminée de manière à obtenir ou fournir l'écart entre les bords desdites pièces dans ladite zone. Ce procédé peut être appliqué au positionnement d'une première pièce telle qu'une puce en face ou dans une ouverture ménagée d'une seconde pièce telle qu'un substrat, et consister à déplacer ladite première pièce pour l'amener au-dessus de l'ouverture de la deuxième pièce, à comparer au fur et à mesure du déplacement de la première pièce l'intensité lumineuse traversant la fente séparant lesdites pièces, et à stopper le mouvement de la première pièce lorsque l'intensité du faisceau lumineux traversant est égale à une valeur déterminée.

    摘要翻译: 为两个部分的横向间隔的确定光学方法(1,2),它们具有相邻的边缘(3,4)形成的槽(5),其由在穿过所述狭槽的至少一个区域发射,从一个侧 后者,平行光束(8); 在拾取通过所述槽的这一区域通过,对后者的另一侧上的光束(图8a); 和在比较该光束穿过该区域的光强度与所述确定性开采值,以便获得或提供在所述区域的所述部分的边缘之间的距离。 这种方法可以被应用到的第一部分的定位,检查作为微芯片,面对或在在第二部分中制成开口检查作为底物,并且可以由在移动所述第一部分,以使其在所述第二开口 部分,在所述第一部分的运动过程中的比较,在穿过槽分离所述部分的光强度,并且在停止所述第一部分的运动当光束穿过的强度等于确定性开采价值。