公开(公告)号：EP1156504A2

公开(公告)日：2001-11-21

申请号：EP00121231.5

申请日：2000-09-29

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： Faul, Robert ,  Drost, Andreas ,  Pradel, Helmut

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/18 ,  H01H1/2025 ,  H01H2059/0063 ,  H01H2059/0081

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikromechanisches Relais mit verbesserten Schalteigenschaften, bei dem der Kontaktbügel zur Überbrückung eines Schaltkontaktes beabstandet vom freien Ende eines einseitig eingespannten, mikromechanischen, beweglichen Biegebalkenelementes an diesem angeordnet ist. Beidseitig des Kontaktbügels sind am beweglichen Element Steuerelektroden vorgesehen, die in Zusammenwirkung mit gegenüberliegenden Steuerelektroden am Substrat sowie entsprechenden Steuersignalen das Öffnen und Schließen des Kontaktes bewirken.
Sowohl durch die beidseitige Anordnung der Steuerelektrodengebiete als auch die erweiterten und beispielsweise getrennten Ansteuerungsmöglichkeiten der Steuerelektroden beidseitig des Kontaktbügels bzw. der entsprechenden Steuerelektroden am Substrat lässt sich ein verbessertes Schaltverhalten erzielen.

摘要翻译： 电极区域（1a），移动元件（10a）和接触片（5）被布置成使得基极和对置电极区域彼此相对。 接触片（5）布置在与自由端间隔开的移动元件（10a）上。 在接触片和移动元件的自由端之间的区域（3）中，形成至少一个第二对电极区域（3a）和相对的第二基极区域（14）。

公开(公告)号：EP1156504A3

公开(公告)日：2003-12-10

申请号：EP00121231.5

申请日：2000-09-29

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： Faul, Robert ,  Drost, Andreas ,  Pradel, Helmut

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/18 ,  H01H1/2025 ,  H01H2059/0063 ,  H01H2059/0081

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikromechanisches Relais mit verbesserten Schalteigenschaften, bei dem der Kontaktbügel zur Überbrückung eines Schaltkontaktes beabstandet vom freien Ende eines einseitig eingespannten, mikromechanischen, beweglichen Biegebalkenelementes an diesem angeordnet ist. Beidseitig des Kontaktbügels sind am beweglichen Element Steuerelektroden vorgesehen, die in Zusammenwirkung mit gegenüberliegenden Steuerelektroden am Substrat sowie entsprechenden Steuersignalen das Öffnen und Schließen des Kontaktes bewirken. Sowohl durch die beidseitige Anordnung der Steuerelektrodengebiete als auch die erweiterten und beispielsweise getrennten Ansteuerungsmöglichkeiten der Steuerelektroden beidseitig des Kontaktbügels bzw. der entsprechenden Steuerelektroden am Substrat lässt sich ein verbessertes Schaltverhalten erzielen.