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    Mischpolymerisat einer Alpha-Beta-ungesättigten Carbonsäure und Verfahren zu seiner Herstellung
    1.
    发明公开
    Mischpolymerisat einer Alpha-Beta-ungesättigten Carbonsäure und Verfahren zu seiner Herstellung 失效
    一种α-β不饱和羧酸和过程及其制备的共聚物。

    公开(公告)号：EP0271077A1

    公开(公告)日：1988-06-15

    申请号：EP87118228.3

    申请日：1985-07-17

    申请人： HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT ,  RÖHM GMBH Chemische Fabrik

    发明人： Geissler, Ulrich, Dr. Dipl.-Ing. ,  Albrecht, Klaus, Dr. Dipl.-Ing.

    IPC分类号： C08F220/18 ,  C08F220/04

    CPC分类号： G03F7/033 ,  C08F220/04 ,  C08F220/18 ,  C08F265/04 ,  Y10S430/111 ,  C08F220/20

    摘要： Es wird ein wasserunlösliches, in wäßrig-alkalischen Lösungen lösliches Mischpolymerisat mit einem mittleren Molekulargewicht im Bereich von etwa 50.000 bis 200.000 aus

    1) einer α,β-ungesättigten aliphatischen Carbon-­säure,
    2) einem Alkylmethacrylat mit mindestens 4 Kohlen­stoffatomen in der Alkylgruppe und gegebe­nenfalls
    3) einer mit 1) und 2) mischpolymerisierbaren mono­meren ethylenisch ungesättigten Verbindung beschrieben, deren zugehöriges Homopolymerisat eine Glastemperatur von mindestens 80°C hat.

    Das Mischpolymerisat ist insbesondere als Bindemittel für photopolymerisierbare Gemische in Kombination mit polymerisierbaren Verbindungen und Photoinitiatoren geeignet. Die damit erhaltenen Gemische zeichnen sich durch hohe Flexibilität und Elastizität in unbelich­tetem und belichtetem Zustand aus und sind besonders zur Anwendung als Trockenresistmaterial für die Tenting-Technik geeignet.

    摘要翻译： 它是一种水溶性的在具有约50,000范围内的平均分子量为1 200000）α，β不饱和脂族羧酸的碱性水溶液共聚物，2），具有甲基丙烯酸烷基酯的至少4个碳原子在烷基中以及任选地 描述3）被1个共聚的单体）和2）烯属不饱和化合物，其相应的均聚物具有至少80℃的玻璃化转变温度 该共聚物特别适合用作用于与可聚合化合物和光引发剂组合的光聚合组合物的粘合剂。 由此获得的特征在于在未曝光和暴露状态下具有高柔韧性和弹性和的混合物尤其适合用作干燥抗蚀剂材料的隆起的技术。

    Durch Strahlung polymerisierbares Gemisch
    5.
    发明公开
    Durch Strahlung polymerisierbares Gemisch 失效
    一种可辐射聚合的混合物。

    公开(公告)号：EP0173057A2

    公开(公告)日：1986-03-05

    申请号：EP85108927.6

    申请日：1985-07-17

    申请人： HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT ,  RÖHM GMBH

    发明人： Geissler, Ulrich, Dr. Dipl.-Ing. ,  Albrecht, Klaus, Dr. Dipl.-Ing.

    IPC分类号： G03C1/68

    CPC分类号： G03F7/033 ,  C08F220/04 ,  C08F220/18 ,  C08F265/04 ,  Y10S430/111 ,  C08F220/20

    摘要： Es wird ein durch Strahlung polymerisierbares Gemisch beschrieben, das als wesentliche Bestandteile

    a) eine radikalisch polymerisierbare Verbindung mit mindestens zwei endständigen ethylenisch ungesättigten Gruppen und mit einem Siedepunkt oberhalb 100°C bei Normaldruck,
    b) eine Verbindung, die unter Einwirkung von aktinischer Strahlung die Polymerisation der Verbindung a) zu initiieren vermag, und
    c) ein wasserunlösliches, in wäßrig-alkalischen Lösungen lösliches Mischpolymerisat mit einem mittleren Molekulargewicht im Bereich von etwa 50 000 bis 200 000 aus
    c1) einer a,ß-ungesättigten aliphatischen Carbonsäure,
    c2) einem Alkylmethacrylat mit mindestens 4 Kohlenstoffatomen in der Alkylgruppe und gegebenenfalls
    c3) einer mit c1) und c2) mischpolymerisierbaren monomeren ethylenisch ungesättigten Verbindung enthält, deren zugehöriges Homopolymerisat eine Glastemperatur von mindestens 80°C hat.

    Das Gemisch zeichnet sich durch hohe Flexibilität und Elastizität in unbelichtetem und belichtetem Zustand aus und ist besonders zur Anwendung als Trockenresistmaterial für die Tenting-Technik geeignet.

    摘要翻译： 公开的是含有具有至少两个末端为主要成分的）烯属不饱和基团并在常压下具有100℃以上的沸点的自由基聚合化合物的可辐射聚合的混合物，b）的化合物，其的光化辐射的作用下，聚合 能够引发该化合物A），和c）一种水溶性的碱性水溶液共聚物具有在约50,000范围内的平均分子量为200000从c1）中的α，β - 不饱和脂族羧酸，C2）甲基丙烯酸烷基酯 包含在烷基中的至少4个碳原子和合适的话，C3）和c1单体共聚）和c2），其烯属不饱和化合物对应的均聚物具有至少80℃的玻璃化转变温度 在未曝光和暴露状态下的混合物的特征在于高柔韧性和弹性并作为干型抗蚀剂材料的隆起技术特别适合使用。