公开(公告)号：EP1794781A4

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：EP05728347

申请日：2005-03-17

申请人： IBM

发明人： CALLEGARI ALESSANDRO C ,  COHEN STEPHAN A ,  DOANY FUAD E

IPC分类号： H01L21/26 ,  H01L21/324 ,  H01L21/42 ,  H01L21/477

CPC分类号： H01L21/76801 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02203 ,  H01L21/02216 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/02354 ,  H01L21/268 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/31633 ,  H01L21/76825 ,  H01L21/76829 ,  H01L21/76832 ,  H01L21/76834 ,  H01L21/76835 ,  Y10T428/249978