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公开(公告)号:EP1897190B1
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:EP06755802.3
申请日:2006-06-28
CPC分类号: H01S5/0425 , H01L2224/48463 , H01S5/02276 , H01S5/1039 , H01S5/16 , H01S5/2036 , H01S5/22
公开(公告)号:EP1897190B1
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:EP06755802.3
申请日:2006-06-28
CPC分类号: H01S5/0425 , H01L2224/48463 , H01S5/02276 , H01S5/1039 , H01S5/16 , H01S5/2036 , H01S5/22