公开(公告)号：EP2764553B1

公开(公告)日：2019-07-24

申请号：EP12768863.8

申请日：2012-10-05

申请人： IMEC VZW ,  TOTAL MARKETING SERVICES ,  Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D

发明人： JAFFRENNOU, Périne ,  DAS, Johan ,  URUENA DE CASTRO, Angel

IPC分类号： H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/061 ,  B23K26/40 ,  B23K26/361

公开(公告)号：EP2764553A1

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：EP12768863.8

申请日：2012-10-05

申请人： IMEC ,  TOTAL MARKETING SERVICES ,  Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D

发明人： JAFFRENNOU, Périne ,  DAS, Johan ,  URUENA DE CASTRO, Angel

IPC分类号： H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/061 ,  H01L21/268

CPC分类号： H01L31/022441 ,  B23K26/361 ,  B23K26/362 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/061 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： The invention relates to the manufacturing process of a solar cell (1) with back contact and passivated emitter, comprising a dielectric stack (10) of at least two layers consisting of at least a first dielectric layer (11) made of AlOx or SiOx in contact with a p-type silicon layer (3), and a second dielectric layer (13) deposited on the first dielectric layer (11). Besides, the method of manufacturing comprising a formation step of at least one partial opening (15) preferably by laser ablation into the dielectric stack (10), sparing at least partially the aforementioned first dielectric layer.

摘要翻译： 本发明涉及具有背接触和钝化发射极的太阳能电池（1）的制造工艺，其包括由至少两层构成的至少两层的电介质叠层（10），所述至少两层由至少由AlO x或SiO x构成的第一电介质层 与p型硅层（3）接触，以及沉积在第一介电层（11）上的第二介电层（13）。 此外，制造方法包括优选通过激光烧蚀至少一个部分开口（15）的形成步骤到电介质堆叠（10）中，至少部分地保留上述第一介电层。