公开(公告)号：EP0604582A1

公开(公告)日：1994-07-06

申请号：EP92920962.0

申请日：1992-09-17

Applicant: IOWA STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION, INC.

Inventor： PORTER, Marc, D. ,  JONES, Thomas, P.

IPC: G01N21 ,  G01J1

CPC classification number: G01N21/7703 ,  G01J2001/1636 ,  G01N21/80 ,  G01N2021/3181 ,  G01N2021/772 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/084 ,  G01N2201/0866

Abstract: Capteur optique à double longueur d'onde servant à mesurer les caractéristiques optiques des couches détectrices sensibles à une certaine grandeur à mesurer. Le capteur comprend une source lumineuse (16, 18) produisant des sorties lumineuses ayant deux longueurs d'onde distinctes, et émettant une paire de composantes lumineuses vers une première et une seconde sortie. Une fibre optique exploitée en temps partagé (26) reçoit la lumière ayant deux longueurs d'ondes distinctes et étant émise par la première sortie, et transmet cette lumière, dans des conditions d'exploitation en temps partagé, à une sonde détectrice (14). Un détecteur d'échantillonnage (30) reçoit la lumière ayant deux longueurs d'ondes distinctes et étant émise par la couche mince détectrice. Un détecteur de référence (34) reçoit la lumière ayant deux longueurs d'ondes distinctes et étant émise par la seconde sortie, et contrôle l'intensité à la sortie de la source lumineuse. Un système de traitement de signaux (35) associe les unes aux autres les mesures des caractéristiques optiques de la couche mince détectrice en réponse à chacune des deux longueurs d'ondes distinctes, afin de produire des mesures exprimant les variations des caractéristiques optiques de la couche mince détectrice.