公开(公告)号：EP3324149B1

公开(公告)日：2019-03-20

申请号：EP17201891.3

申请日：2017-11-15

申请人： Innovent e.V.

发明人： HERTZSCH, Albrecht ,  HERLITZE, Lothar ,  KRÖGER, Knut

IPC分类号： G01B11/06 ,  G01N21/896 ,  G01N21/41 ,  G01N21/45 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27

公开(公告)号：EP3324149A1

公开(公告)日：2018-05-23

申请号：EP17201891.3

申请日：2017-11-15

申请人： Innovent e.V.

发明人： HERTZSCH, Albrecht ,  HERLITZE, Lothar ,  KRÖGER, Knut

IPC分类号： G01B11/06 ,  G01N21/896 ,  G01N21/41 ,  G01N21/45

CPC分类号： G01B11/0641 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/211 ,  G01N21/274 ,  G01N2021/215

摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erkennung von Modifikationen an einem optisch transparenten Bauteil (1) mit einer planparallelen Substratlage (1.1) aus einem Substrat, wobei auf eine Vorderfläche (1.2) des Bauteils (1) mittels einer Beleuchtungseinheit (2) ein Beleuchtungsstrahlenbündel in einem linienförmigen Beleuchtungsabschnitt fokussiert wird. Das Beleuchtungsstrahlenbündel ist längs des Beleuchtungsabschnitts kollimiert und in einer Einfallsebene in einem halben Öffnungswinkel von zwischen einem und drei Grad symmetrisch um den Brewster-Winkel des Substrats angeordnet und zur Einfallsebene parallel polarisiert. Die summarische Intensität mindestens eines an einer zur Substratlage (1.1) parallelen Grenzfläche des Bauteils (1) reflektierten Messstrahlenbündels (5.1, 5.2) wird mittels einer Detektoreinheit (3) erfasst und mit mindestens einer an einem Referenzprüfkörper gemessenen summarischen Referenzintensität verglichen.