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公开(公告)号：EP0051567A1
公开(公告)日：1982-05-12
申请号：EP81810440.8
申请日：1981-11-03
IPC分类号： G03B41/00
CPC分类号： G03F9/7088
摘要： Es werden eine Halbleiterscheibe und eine Schablone gegenüber einem lichtelektrischen Mess- und Abtastsystem und der beiden Gegenstände zueiander bei der schrittweisen Projektionslithografie für die Herstellung von Halbleiterstrukturen justiert. Es wird eine hochgenaue, dabei schnellstmögliche Justierung der beiden Gegenstände unter wahlweiser Benutzung der zur Zeit üblichen unterschiedlichen Justiermarken sowohl nach den dadurch beeinflusten Lichtströmen als auch nach ihrer Struktur ermöglicht.
Mittels eines optischen Abbildungssystems (10, 11, 12) wird ein Bild der Justiermarken 4, 5, 7, 8) beider Gegenstände (1,2) in der Abtastebene eines lichtelektrischen Mess- und Abtastsystems symmetrisch zu einer ortsfesten Achse dieses systems erzeugt.
Zur Bildsignalgewinnung werden zwei, durch einen auf der ortsfesten Achse liegenden Mittelsteg getrennte Bildausschnitte benutzt, die mit elektronischen oder mechanischen Mitteln erzeugt werden. Es entsteht so ein Zweistrahlverfahren. Die Bildabtastung erfolgt mittels einer Fernsehkameraröhre oder beweglicher Schlitzträger, wobei die beiden Bildausschnitte durch Kanalumschaltung abwechselnd zur Bildsignalerzeugung benutzt werden.
Ein Rechenwerk verarbeitet die Bildsignale und erzeugt Steuersignale für Stellglieder zur Justierung der beiden Gegenstände (1, 2).摘要翻译： 它可以调整在半导体晶片和相对于光电测量的掩模和感测系统和所述两个物体在半导体结构的制造的分步投影光刻zueiander。 这是可能都根据其特征beeinflusten光流和通过其结构的高精确度，另外，下任选使用当前可用的不同对准标记的两个对象的最快的可能的调整。 通过光学成像系统（10，11，12），8）的两个物体（1，2）中的光电测量和扫描对称有关此系统的固定轴线的扫描平面产生的对准标记4，5，7的图像的装置。 所述的图像信号获得两个，通过静止在固定轴中心Web图像部分被分开使用通过电子或机械装置产生。 这产生了双光束方法。 图像扫描是由电视摄像机管或柔性槽的载体，其中，所述两个图像部分通过通道交替地切换该图像信号生成中使用的装置进行。 算术单元处理的图像信号，并产生控制信号，用于致动器用于调节所述两个物体（1，2）。
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公开(公告)号：EP0051567B1
公开(公告)日：1987-03-25
申请号：EP81810440.8
申请日：1981-11-03
IPC分类号： G03B41/00
CPC分类号： G03F9/7088
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