摘要:
Ein elektrostatisches Ablenksystem für Korpuskularstrahlen, bei dem einander gegenüberliegende Elektroden (5,6) mit einstellbaren Potentialen zur Ablenkung benutzt werden. Zur Erhöhung der Produktivität von Korpuskularstrahlgeräten besteht die Aufgabe, einen sich bewegenden' Korpuskularstrahl über seinen gesamten Schwenkbereich oder viele nebeneinanderliegende statische Korpuskularstrahlen gleichzeitig zu steuern. Das wird dadurch erreicht, daß eine Vielzahl von Elektroden (5,6) auf mindestens einem Paar einander gegenüberliegender, im wesentlichen gleichgerichteter Flächen (3,4) jeweils in einer Reihe nebeneinander liegend angeordnet sind. Jede Elektrode wenigstens einer der beiden Flächen eines Paares weist eine eigene Potentialzuführung (15, 16) auf. Die dem Korpuskularstrahl zugewandten Flächenteile zwischen den Elektroden sind elektrisch leitend.
摘要:
Ein elektrostatisches Ablenksystem für Korpuskular strahlen, bei dem einander gegenüberliegende Elektroden (5,6) mit einstellbaren Potentialen zur Ablenkung benutzt werden. Zur Erhöhung der Produktivität von Korpuskular strahlgeräten besteht die Aufgabe, einen sich bewegenden Korpuskularstrahl über seinen gesamten Schwenkbereich oder viele nebeneinanderliegende statische Korpuskular strahlen gleichzeitig zu steuern. Das wird dadurch erreicht, daß eine Vielzahl von Elektroden (5,6) auf mindestens einem Paar einander gegenüberliegender, im wesentlichen gleich gerichteter Flächen (3,4) jeweils in einer Reihe nebeneinan der liegend angeordnet sind. Jede Elektrode wenigstens einer der beiden Flächen eines Paares weist eine eigene Potentialzuführung (15, 16) auf. Die dem Korpuskularstrahl zugewandten Flächenteile zwischen den Elektroden sind elektrisch leitend.