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发明公开
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PLASMABEHANDLUNG VON BEHÄLTERN 审中-公开

公开(公告)号：EP3887565A1

公开(公告)日：2021-10-06

申请号：EP19809047.4

申请日：2019-11-22

申请人： KHS Corpoplast GmbH

发明人： HERBORT, Michael , BEYERSDORFF, Björn

IPC分类号： C23C16/04 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/511 , C23C16/52 , H01J37/32