公开(公告)号：EP2718967A4

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：EP12797503

申请日：2012-06-06

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： PARK ALLEN ,  CHANG ELLIS ,  AJI PRASHANT A ,  LANGE STEVEN R

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/95 ,  G06F17/50

CPC classification number: G06F17/5068 ,  G01N21/9501 ,  G06F17/50 ,  G06F17/5009 ,  G06F2217/12 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：EP3117453A4

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：EP15809587

申请日：2015-06-19

Applicant: KLA-TENCOR CORP

Inventor： NICOLAIDES LENA ,  TSAI BEN-MING BENJAMIN ,  AJI PRASHANT A ,  GASVODA MICHAEL ,  STOKOWSKI STANLEY E ,  ZHAO GUOHENG ,  WEN YOUXIAN ,  MAHADEVAN MOHAN ,  HORN PAUL D ,  VOLLRATH WOLFGANG

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/95 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G01N21/9503 ,  G01N2201/06113 ,  G03F7/7085 ,  H01L22/12