公开(公告)号：EP4367709A1

公开(公告)日：2024-05-15

申请号：EP22838286.7

申请日：2022-07-01

申请人： Lam Research Corporation

发明人： KUMAR, Ravi ,  AGARWAL, Pulkit ,  LAVOIE, Adrien ,  AUSTIN, Dustin Zachary ,  ABEL, Joseph R. ,  AGNEW, Douglas Walter ,  BAKER, Jonathan Grant

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/768 ,  C23C16/455 ,  C23C16/04 ,  C23C16/505 ,  C23C16/30 ,  C23C16/56

CPC分类号： H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/022 ,  C23C16/401 ,  C23C16/345 ,  C23C16/045 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45561