公开(公告)号：EP0943704A3

公开(公告)日：2002-05-02

申请号：EP99100622.2

申请日：1999-01-14

申请人： Leybold Systems GmbH

发明人： Altekrüger, Burkhard, Dr. ,  Aufreiter, Joachim, Ing. ,  Brüss, Dieter, Dipl.-Ing. ,  Kalkowski, Klaus, Dipl.-Ing.

IPC分类号： C30B15/20 ,  C30B35/00

CPC分类号： C30B15/20 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008

摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Steuern von Kristallzüchtungsprozessen, welche verschiedenartige Prozeß-Phasen - z. B. Einschmelzen oder Abkühlen - durchlaufen und bei denen die Form des Kristalls während der Züchtung verschiedene Bereiche aufweist, beispielsweise einen Hals und/oder eine Schulter. Jedem einzelnen dieser Bereiche und Phasen sind dabei bestimmte Prozeßparameter und Zielgrößen sowie Eingangswerte und Ausgangswerte zugeordnet, beispielsweise ein bestimmter Gasdruck oder eine bestimmte Kristall-Drehgeschwindigkeit. Die Verknüpfung dieser Größen erfolgt durch Funktionsgeneratoren oder Tabellen. Mit Hilfe einer erfindungsgemäßen Regelvorrichtung wird es ermöglicht, bei grundsätzlich gleichartigem Aufbau und übersichtlicher Struktur für jede der speziellen Prozeßphasen und Kristallabschnitte eine speziell angepaßte Verknüpfung der jeweils erforderlichen Ein- und Ausgangsgrößen zu erzeugen. Das ermöglicht eine optimierte Prozeßführung mit hoher Reproduzierbarkeit, bei der manuelle Eingriffe des Bedienpersonals während des gesamten Prozesses und auch während der Übergangsphasen zwischen verschiedenen Prozeßabschnitten nicht mehr erforderlich sind.

公开(公告)号：EP0903428A3

公开(公告)日：2000-07-19

申请号：EP98114783.8

申请日：1998-08-06

申请人： Leybold Systems GmbH

发明人： Altekrüger, Burkhard, Dr. Dipl.-Phys. ,  Aufreiter, Joachim, Ing. ,  Brüss, Dieter, Dipl.-Ing. ,  Kalkowski, Klaus, Dipl.-Ing.

IPC分类号： C30B15/26 ,  C30B29/06

CPC分类号： C30B15/26 ,  G01B11/08 ,  Y10S117/90 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008 ,  Y10T117/1012

摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren für die Bestimmung von Durchmessern eines Kristalls, der aus einer Schmelze gezogen wird. Es sind hierbei mehrere Videokameras vorgesehen, von denen jede einen eigenen Abschnitt entlang der vertikalen Achse des Kristalls oder in eine Richtung senkrecht hierzu abbildet. Die Bildwinkel der Kameras sind so ausgelegt, daß der abzubildende Gegenstand die gesamte Bildebene - wenigstens in einer Richtung - vollständig ausfüllt. Für Gegenstände mit kleinem Durchmesser - z. B. den Kristallhals - wird eine Kamera mit kleinem Bildwinkel verwendet, während für Gegenstände mit großem Durchmesser - z. B. den Kristall-Body - eine Kamera mit großem Bildwinkel verwendet wird.

公开(公告)号：EP0943704A2

公开(公告)日：1999-09-22

申请号：EP99100622.2

申请日：1999-01-14

申请人： Leybold Systems GmbH

发明人： Altekrüger, Burkhard, Dr. ,  Aufreiter, Joachim, Ing. ,  Brüss, Dieter, Dipl.-Ing. ,  Kalkowski, Klaus, Dipl.-Ing.

IPC分类号： C30B15/20

CPC分类号： C30B15/20 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008

摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Steuern von Kristallzüchtungsprozessen, welche verschiedenartige Prozeß-Phasen - z. B. Einschmelzen oder Abkühlen - durchlaufen und bei denen die Form des Kristalls während der Züchtung verschiedene Bereiche aufweist, beispielsweise einen Hals und/oder eine Schulter. Jedem einzelnen dieser Bereiche und Phasen sind dabei bestimmte Prozeßparameter und Zielgrößen sowie Eingangswerte und Ausgangswerte zugeordnet, beispielsweise ein bestimmter Gasdruck oder eine bestimmte Kristall-Drehgeschwindigkeit. Die Verknüpfung dieser Größen erfolgt durch Funktionsgeneratoren oder Tabellen. Mit Hilfe einer erfindungsgemäßen Regelvorrichtung wird es ermöglicht, bei grundsätzlich gleichartigem Aufbau und übersichtlicher Struktur für jede der speziellen Prozeßphasen und Kristallabschnitte eine speziell angepaßte Verknüpfung der jeweils erforderlichen Ein- und Ausgangsgrößen zu erzeugen. Das ermöglicht eine optimierte Prozeßführung mit hoher Reproduzierbarkeit, bei der manuelle Eingriffe des Bedienpersonals während des gesamten Prozesses und auch während der Übergangsphasen zwischen verschiedenen Prozeßabschnitten nicht mehr erforderlich sind.

摘要翻译： 本发明涉及一种设备，用于控制晶体生长过程中的各种工艺阶段，其 - ，例如，熔化或冷却 - 穿过，并且具有不同的区域，如一个颈部和/或肩部的生长过程中晶体的形状。 这些字段和相位中的每一个被分配给某些工艺参数和目标变量和输入值和输出值，例如，在一定的气体压力或特定的结晶旋转速度。 这些变量的函数发生器或表格的联系。 通过根据本发明的控制装置的装置，能够产生各自所需的输入和输出变量的一个特别适于连接在每个具体的工艺阶段和晶体部分的执行更清楚结构基本相似的结构。 这使得能够以高再现性优化工艺控制，不再需要在整个过程中，也在不同处理部分之间的过渡阶段手动操作介入。

公开(公告)号：EP0903428A2

公开(公告)日：1999-03-24

申请号：EP98114783.8

申请日：1998-08-06

申请人： Leybold Systems GmbH

发明人： Altekrüger, Burkhard, Dr. Dipl.-Phys. ,  Aufreiter, Joachim, Ing. ,  Brüss, Dieter, Dipl.-Ing. ,  Kalkowski, Klaus, Dipl.-Ing.

IPC分类号： C30B15/26 ,  C30B29/06

CPC分类号： C30B15/26 ,  G01B11/08 ,  Y10S117/90 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008 ,  Y10T117/1012

摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren für die Bestimmung von Durchmessern eines Kristalls, der aus einer Schmelze gezogen wird. Es sind hierbei mehrere Videokameras vorgesehen, von denen jede einen eigenen Abschnitt entlang der vertikalen Achse des Kristalls oder in eine Richtung senkrecht hierzu abbildet. Die Bildwinkel der Kameras sind so ausgelegt, daß der abzubildende Gegenstand die gesamte Bildebene - wenigstens in einer Richtung - vollständig ausfüllt. Für Gegenstände mit kleinem Durchmesser - z. B. den Kristallhals - wird eine Kamera mit kleinem Bildwinkel verwendet, während für Gegenstände mit großem Durchmesser - z. B. den Kristall-Body - eine Kamera mit großem Bildwinkel verwendet wird.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于监测用于生产晶体的熔体的装置。 因此，该装置包括相机，该相机为坩埚内容物的表面的至少部分提供图像。 相对于所述坩埚的内容物的表面的固体和液体部分，通过评价装置评价照相机图像。